
停止在工厂中浪费热量吧
说实话:在运行工厂设备时,每一瓦特没有用于加热晶圆的能量都是一种浪费。更糟糕的是,这些能量还会让设备本身变成“发热体”,迫使空调系统超负荷运转,以保持车间温度不会过高。
造成这一问题的罪魁祸首就是普通的石英灯——它们会向各个方向散发热量。在精密加工环境中,大约有一半的热量是朝错误的方向散发的,也就是直接回到灯壳里,而非被用来加热产品。
金色的神奇作用
为了解决这个问题,我们会在灯的背面涂上一层特殊的金色涂层。
为什么选择黄金呢?因为黄金具有极佳的反射红外线的能力。这样,那些光子就不会散失到设备的其他部位,而是被反射回来,直接照射到晶圆上。这样一来,热量就能更集中地作用于晶圆表面。虽然这只是个简单的原理,但它能让晶圆表面获得更多的热量,同时不必增加电源的输出功率。
需要注意的几点
虽然更高的能量密度听起来很棒,但必须注意热梯度的问题。如果涂层过于粗糙,或者灯与晶圆的距离过近,就可能会出现局部过热的情况。而局部过热很容易导致薄晶圆变形。此外,还需要确保PID控制器能够应对这种快速升温的情况。我们设计的这种替代品可以方便地直接替换原有灯具,只需先确认其尺寸是否合适即可。因为经过处理的灯在受热后会有一些尺寸变化,所以需要特别留意这一点。
这个技术在实际应用中的优势
这项技术尤其适用于那些要求“快速且均匀加热”的场景。在固化或脱水处理过程中,它能确保热量更有效地传递到所需位置,从而缩短处理时间。
最后一点建议:请确保冷却风扇能够承受焦点处的集中热量。因为那个点上的热量非常集中,所以需要给冷却系统足够的空间来散热。