RTP系统用卤素灯

在制造现场，热效应并非仅存在于理论层面——它们会表现为线宽的波动以及良品率的下降。在RTP工艺中，灯管就是需要调整的关键部件。如果温度分布出现偏差，光刻胶的性能也会受到影响，这样一来，所有的努力就都白费了。 从技术角度来说，什么才是重要的？ 我们为RTP工艺选择的是能够发出短波红外线的卤素灯，这样...