Làm khô các tấm wafer MEMS một cách hiệu quả, không gây hư hại Việc làm khô các tấm wafer cảm biến MEMS là một công việc khá phức tạp. Bạn cần loại bỏ nước trên bề mặt wafer một cách nhanh chóng, nhưng nếu sử dụng lực nhiệt quá mạnh, bạn sẽ làm hỏng các cấu trúc vi mô nhỏ bé và mong manh trên wafer đó. Hầu hết mọi người đều sử dụng phương pháp sưởi ấm toàn bộ căn phòng. Đây là phương pháp kém hiệu quả; bạn chỉ đang làm nóng không khí và các bức tường, trong khi mục tiêu thực sự là làm khô wafer. Chúng tôi lại sử dụng phương pháp khác: chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại có khả năng chiếu nhiệt một cách chính xác vào wafer. Thay vì làm nóng toàn bộ căn phòng, chúng tôi chỉ cần chiếu nhiệt trực tiếp vào wafer. Tại sao lại cần sử dụng phương pháp chiếu nhiệt chính xác này? Hãy nghĩ về một chiếc máy sưởi thông thường: nó phát ra nhiệt ra mọi hướng – tức là lãng phí năng lượng. Trong các thiết bị chế tạo bán dẫn, điều này có nghĩa là các bức tường bên trong thiết bị sẽ bị làm nóng quá mức. Điều này không chỉ lãng phí năng lượng mà còn gây nguy hiểm cho người vận hành máy. Chúng tôi sử dụng các bóng đèn hồng ngoại tia ngắn kèm theo lớp phản xạ. Điều này giúp nhiệt lượng được tập trung vào wafer, trong khi các bức tường của thiết bị vẫn giữ được nhiệt độ ổn định. Đây là phương pháp hiệu quả hơn nhiều. Điều khó khăn nhất Để làm khô wafer một cách nhanh chóng, chúng tôi thường sử dụng các ống thủy ngân có công suất cao. Nhưng điều này đòi hỏi nguồn điện phải có khả năng chịu được dòng điện cực lớn trong khoảnh khắc đó. Bạn không thể chỉ tăng công suất lên mức tối đa để tiết kiệm vài giây thời gian – điều đó sẽ gây ra hiện tượng sốc nhiệt. Bí quyết thực sự nằm ở khoảng cách giữa bóng đèn và wafer. Nếu bóng đèn quá gần, sẽ xuất hiện những điểm nóng, khiến các màng cảm biến bị biến dạng. Vì vậy, việc tìm ra khoảng cách lý tưởng rất quan trọng. Áp dụng phương pháp này trong thực tế Vì nhiệt lượng được tập trung một cách chính xác, bạn không cần phải sử dụng các lớp cách nhiệt dày và nặng bên ngoài thiết bị. Điều này giúp thiết bị trở nên nhỏ gọn hơn và dễ quản lý hơn. Ngoài ra, bạn cũng có thể kết hợp phương pháp này với bộ điều khiển PID để tránh việc nhiệt độ vượt quá mức mong muốn. Một mẹo nhỏ: tia hồng ngoại tia ngắn hoạt động khác với tia hồng ngoại tia dài. Bạn cần kiểm tra xem wafer của mình hấp thụ nhiệt như thế nào, để có thể điều chỉnh thời gian làm khô wafer một cách chính xác.