Hãy ngừng lãng phí năng lượng đi: Tại sao chúng ta sử dụng bộ phản xạ bằng vàng
Thành thật mà nói, không có gì tồi tệ hơn việc phải trả tiền để mua năng lượng mà nó lại bị tổn thất do các bức tường trong buồng xử lý. Khi chúng ta xử lý các tấm wafer, mỗi watt năng lượng không chiếu vào bề mặt wafer đều coi như tiền bị lãng phí.
Đó là lý do tại sao chúng ta chọn sử dụng bộ phản xạ được phủ bằng vàng. Nghe có vẻ xa xỉ, nhưng logic của nó rất đơn giản: Chúng ta muốn mọi nguồn nhiệt từ nguyên lý phát nhiệt đều được chuyển hướng đến chính xác nơi cần thiết – đó chính là bề mặt wafer.
Tại sao chọn vàng?
Hầu hết mọi người thường chọn aluminum để làm bộ phản xạ, nhưng aluminum lại có khả năng hấp thụ năng lượng hồng ngoại khá cao. Vàng thì khác; đây là một trong những vật liệu tốt nhất để phản xạ ánh sáng hồng ngoại. Bằng cách phủ một lớp vàng mỏng lên bề mặt bộ phản xạ, chúng ta có thể ngăn chặn sự tổn thất nhiệt. Nhờ đó, nhiệt độ trên bề mặt wafer sẽ cao hơn, mà không cần phải tăng công suất nguồn điện.
Nhược điểm: Nhiệt độ và áp suất
Vấn đề là khi chúng ta tập trung năng lượng một cách cao độ như vậy, nhiệt độ sẽ tăng lên rất nhanh. Tin tốt là các tấm wafer sẽ đạt đến nhiệt độ mong muốn nhanh hơn, từ đó rút ngắn thời gian xử lý. Nhưng bạn cũng cần chú ý đến hệ thống làm mát. Nếu hệ thống làm mát không hoạt động hiệu quả, nhiệt độ sẽ tăng quá cao, dẫn đến hư hỏng các bộ phận trong hệ thống.
Giữ cho bộ phản xạ luôn sạch sẽ
Chúng tôi thiết kế bộ phản xạ này sao cho có thể thay thế dễ dàng. Nhưng một khi chúng đã được lắp đặt, bạn cần phải chăm sóc chúng cẩn thận. Bề mặt vàng rất nhạy cảm; một vết dầu hay vết bẩn nhỏ cũng có thể gây ra “điểm lạnh” trên bề mặt wafer, làm mất đi sự đồng đều của nhiệt độ, từ đó ảnh hưởng đến toàn bộ quy trình xử lý.
Mẹo nhỏ: Hãy sử dụng găng tay không có lông. Nếu cần vệ sinh chúng, hãy dùng cồn isopropyl. Nghe có vẻ khó chịu, nhưng điều này rất quan trọng. Chúng tôi đã từng thấy nhiều hệ thống mất đi 15% công suất phát nhiệt chỉ vì bộ phản xạ bị bẩn. Hãy giữ chúng luôn sạch sẽ, và hệ thống sẽ hoạt động hiệu quả hơn.