Trong quy trình sản xuất, bước sấy lớp bảo vệ bề mặt wafer không phải là giai đoạn dừng quy trình, mà là một bước quan trọng trong quy trình tổng thể. Nếu nhiệt độ trong buồng sấy thay đổi, cấu trúc của lớp hóa chất dùng để in hình lên wafer cũng sẽ thay đổi, từ đó ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Chúng tôi đã thiết kế hệ thống này để đáp ứng những yêu cầu này.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi duy trì độ đồng đều về nhiệt độ trên toàn bộ bề mặt wafer ở mức ±0,1°C, nhờ đó mỗi vị trí trên wafer đều nhận được cùng một mức nhiệt độ. Các bóng đèn thạch anh-halogen giúp kiểm soát nhiệt độ một cách nhanh chóng và ổn định, giúp rút ngắn thời gian xử lý mà vẫn giữ được sự kiểm soát chính xác. Buồng sấy được thiết kế để hoạt động trong môi trường sạch cấp độ 1–100, và mọi đường dẫn khí đều được thiết kế sao cho không có sự tạo ra các hạt bụi. Độ ổn định của nhiệt độ được kiểm soát ở mức vài miligiây, điều này giúp đảm bảo chất lượng sản phẩm ổn định từ lô này sang lô khác.
Tại sao hệ thống này có thể hoạt động 24/7 Khi hoạt động 24/7, tính ổn định của hệ thống chính là yếu tố quan trọng nhất. Hệ thống này hoạt động mà không gặp phải bất kỳ sự cố nào, và các linh kiện được chọn lựa sao cho có tuổi thọ cao, có thể hoạt động liên tục hơn 5.000 giờ trước khi cần bảo trì. Việc giảm thiểu sự gián đoạn giúp đảm bảo chất lượng sản phẩm ổn định và khả năng sản xuất dự đoán được. Độ chính xác cao còn giúp giảm lượng sản phẩm bị hỏng do quá trình sấy không đúng cách, đồng thời giúp tiết kiệm năng lượng và rút ngắn thời gian xử lý mỗi wafer.
Những chi tiết cần lưu ý Việc lắp đặt hệ thống đòi hỏi phải có hệ thống thông gió riêng biệt và nguồn điện ổn định với điện áp được kiểm soát chặt chẽ. Tuổi thọ và độ ổn định của các bóng đèn phụ thuộc rất nhiều vào yếu tố này. Hệ thống này hoạt động tốt với các thiết bị xử lý wafer tiêu chuẩn và các giao diện SECS/GEM. Tuy nhiên, việc tích hợp hệ thống này vào các hệ thống cũ có thể cần thời gian để điều chỉnh các thông số kỹ thuật. Hãy lên kế hoạch trước để hệ thống có thể hoạt động ổn định từng ngày.