Ngăn chặn thảm họa do ống quang bị vỡ trong quá trình sấy wafer
Trong các nhà máy sản xuất chip bán dẫn có công suất cao, việc ống quang bị vỡ không chỉ là một “sự cố kỹ thuật” hay gây ra sự gián đoạn trong quá trình sản xuất. Đó là một thảm họa thực sự.
Hãy tưởng tượng xem: ống quang bị vỡ, và ngay lập tức những mảnh thủy tinh và khí halogen sẽ rơi xuống các wafer. Chỉ cần một tiếng nổ nhỏ thôi, cả một lô sản phẩm đã bị hỏng. Đó là kiểu ngày khiến bất kỳ kỹ sư nào cũng muốn rời khỏi nơi làm việc ngay lập tức.
Chúng tôi thiết kế các bộ điều khiển kỹ thuật số và các bộ phận chiếu sáng để đảm bảo rằng điều này sẽ không xảy ra.
Xử lý vấn đề nhiệt độ
Hầu hết các trường hợp ống quang bị vỡ là do tác động của nhiệt độ quá cao. Nếu dùng điện áp cao để kích hoạt ống quang, chất liệu thủy tinh sẽ không thể chịu đựng nổi. Nhiệt độ quá cao khiến ống quang bị vỡ.
Các bộ điều khiển kỹ thuật số của chúng tôi giúp kiểm soát việc tăng dần điện áp một cách từ từ. Thay vì có sự gia tăng điện áp đột ngột, điện áp được điều chỉnh một cách êm ái, giúp bảo vệ các linh kiện.
Ngoài ra, còn có vấn đề về việc làm mát. Các ống quang có công suất cao tạo ra lượng nhiệt lớn. Nếu hệ thống làm mát không hoạt động tốt, hai đầu ống quang sẽ bị quá nhiệt. Chúng tôi đảm bảo rằng công suất đầu ra được cân bằng tốt với chiều dài của ống quang, để tránh trường hợp có điểm nào đó bị quá nhiệt.
Các bộ phận bảo vệ thực sự
Phần mềm rất hữu ích, nhưng bạn cũng cần có các biện pháp bảo vệ vật lý.
Chúng tôi sử dụng vỏ thủy tinh chịu lực cao và lớp phủ đặc biệt để giữ cho chu trình hoạt động của ống quang ổn định. Điều này giúp filament kéo dài tuổi thọ hơn.
Nhưng điều khiến chúng tôi yên tâm nhất là việc chúng tôi sử dụng các lớp bảo vệ vật lý. Nếu ống quang bị vỡ, lớp bảo vệ này sẽ giữ các mảnh vỡ lại, tránh để chúng chạm vào các wafer.
Chúng tôi cũng sử dụng các loại konektor R7s hoặc Sk15. Tại sao? Bởi vì các konektor lỏng lẻo có thể gây ra hiện tượng phóng điện. Hiện tượng này tạo ra những điểm nóng, và những điểm nóng này lại gây ra sự hỏng hóc. Đó là một chuỗi sự kiện liên tục, và chúng tôi ngăn chặn nó bằng cách đảm bảo rằng các konektor được kết nối chặt chẽ.
Thực tế về sự đánh đổi
Sự thật là: các ống quang có công suất cao là cách nhanh nhất để sấy wafer. Chúng rất hữu ích cho việc tăng năng suất sản xuất. Nhưng tốc độ cao này lại gây ra áp lực lớn lên ống quang.
Bạn có thể sử dụng chúng, nhưng cần phải theo dõi thời gian hoạt động của chúng một cách cẩn thận. Theo thời gian, ống quang sẽ trở nên yếu đi.
Lời khuyên của chúng tôi là hãy tuân thủ lịch thay thế ống quang một cách nghiêm ngặt. Việc thay thế ống quang trong thời gian nghỉ là cách tiết kiệm chi phí hơn so với việc phải vứt bỏ hàng ngàn wafer vì cố gắng sử dụng ống quang cũ thêm một thời gian nữa.