Trên bề mặt tấm silic, ngay cả sự thay đổi nhiệt độ chỉ 0,5 độ C cũng có thể ảnh hưởng đến các thông số kỹ thuật quan trọng của tấm silic, khiến bạn mất đi toàn bộ lô sản phẩm. Bạn không cần nhiệt độ quá cao; bạn chỉ cần nhiệt độ đủ để đạt được các tiêu chuẩn yêu cầu, và nhiệt độ này phải được duy trì ổn định qua từng lần xử lý.
Thiết bị mà chúng tôi đã chế tạo và tại sao nó lại quan trọng Chúng tôi sử dụng máy sấy hồng ngoại gọn nhẹ này, kèm theo các bộ phát sóng tia hồng ngoại tầng trung và hệ thống dẫn nhiệt làm từ thạch anh. Nhờ đó, chúng tôi có thể duy trì độ ổn định nhiệt độ ở mức ±0,1°C trên toàn bộ bề mặt tấm silic. Hệ thống điều khiển khép kín giúp duy trì độ ổn định nhiệt độ, giúp quá trình sấy diễn ra trong khoảng nhiệt độ cho phép.
Thiết bị này phù hợp với môi trường phòng sạch loại 1–100. Nó sử dụng vật liệu ít phát khí, và hệ thống luồng khí tạo ra môi trường không có hạt bụi. Trong thực tế, điều này có nghĩa là máy sấy không gây ra bất kỳ khiếm khuyết nào, mà chỉ mang lại hiệu quả sấy ổn định.
Tại sao nó phù hợp với thực tế sản xuất Trong quy trình sản xuất IC, thiết bị này giúp kết hợp giữa tốc độ và độ chính xác. Nó có thể đạt được nhiệt độ yêu cầu một cách nhanh chóng, đồng thời duy trì độ ổn định nhiệt độ qua nhiều lần xử lý. Kết quả là việc kiểm soát độ dày của lớp phủ trên tấm silic trở nên dễ dàng hơn, số lần phải tái xử lý giảm đi, và tỷ lệ sản phẩm hoàn chỉnh vẫn ổn định.
Vì thiết bị này phản ứng nhanh và chỉ làm nóng những vùng cần thiết, nên mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm đi. Đồng thời, kích thước của thiết bị khá nhỏ, giúp việc bố trí nó trong không gian chật hẹp trở nên dễ dàng hơn.
Những gì bạn cần để thiết bị hoạt động tốt Việc tích hợp thiết bị này khá đơn giản. Tuy nhiên, bạn cần có mạch điện riêng biệt và không khí nén sạch, khô để đảm bảo hệ thống thông gió hoạt động tốt. Bạn nên tiến hành thử nghiệm ngắn để điều chỉnh các thông số sao cho phù hợp với loại chất phủ được sử dụng.
Khi đã được điều chỉnh đúng cách, thiết bị này có thể hoạt động 24/7, với việc calibrate định kỳ, đảm bảo rằng nó luôn duy trì cùng một mức nhiệt độ trong mỗi lần xử lý.