Trong quá trình nung phim ảnh hóa học, sự biến đổi nhiệt độ không phải là điều gì xa vời. Những biến đổi này thể hiện qua việc đường kính của các vạch trên wafer bị thay đổi, khả năng bám dính kém, và tỷ lệ sản phẩm chất lượng thấp tăng lên. Nếu nhiệt độ trong lò nung có sự biến động, thì wafer chính là bộ phận chịu ảnh hưởng nặng nề nhất. Chúng tôi đã thiết kế các bóng đèn hồng ngoại này sao cho có thể duy trì nhiệt độ ổn định trong từng chu kỳ nung.
Điều quan trọng nhất chính là khả năng kiểm soát nhiệt độ. Những bóng đèn này phát ra ánh sáng hồng ngoại bước sóng ngắn, với tốc độ phản ứng nhanh và khả năng kiểm soát phổ ánh sáng chính xác, đúng vào vùng mà các loại phim ảnh hóa học thường hấp thụ ánh sáng. Trên bề mặt wafer, độ đồng đều về nhiệt độ được duy trì ở mức ±0,1°C; độ lặp lại của nhiệt độ trong 10.000 chu kỳ nung chỉ dao động trong khoảng ±0,2°C. Các bộ phận cấu thành lò nung được chế tạo theo tiêu chuẩn ISO Class 1–100, giúp loại bỏ hoàn toàn các hạt bụi và giảm mức độ khí thải xuống dưới mức ppb. Mật độ công suất của bóng đèn được điều chỉnh sao cho phù hợp với nhu cầu nhiệt độ trong quá trình nung, giúp loại bỏ hoàn toàn các chất dung môi mà không làm ảnh hưởng đến phim ảnh hóa học, đồng thời đảm bảo quá trình liên kết giữa các phân tử diễn ra ổn định.
Trong các hệ thống in ấn và quy trình phủ/phơi phim, những bóng đèn này giúp duy trì nhiệt độ ổn định trên bề mặt wafer, chứ không chỉ ở các cảm biến. Điều này giúp giảm sự biến động về độ dày của lớp phim, giảm lượng sản phẩm hỏng, và rút ngắn thời gian thử nghiệm. Bên cạnh đó, hệ thống này còn giúp tiết kiệm năng lượng, vì nhiệt độ có thể được duy trì ổn định mà không bị biến động quá nhiều.
Độ tin cậy của hệ thống được thể hiện qua thời gian hoạt động ổn định. Chúng tôi có những bóng đèn hoạt động liên tục trong hơn 5.000 giờ mà tỷ lệ sản phẩm hỏng chỉ dưới 5%. Điều này giúp các doanh nghiệp dễ dàng lên kế hoạch bảo trì, giảm số lượng linh kiện dự phòng cần chuẩn bị, và đảm bảo quy trình sản xuất diễn ra ổn định.
Dưới đây là những chi tiết cần lưu ý khi lắp đặt:
Việc lắp đặt khá đơn giản, nhưng độ chính xác trong việc căn chỉnh lại rất quan trọng. Hãy kiểm tra kỹ khoảng cách tiêu cự và hình dạng của bộ phản xạ ánh sáng để duy trì độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C. Bạn cũng cần đảm bảo rằng nhiệt độ của module hoạt động không vượt quá 10–15°C, trừ khi đường dẫn khí được thiết kế phù hợp. Ngoài ra, hãy đảm bảo rằng mức độ biến động điện áp không vượt quá 2%; việc sử dụng bộ điều chỉnh điện áp sẽ giúp duy trì nhiệt độ ổn định trong thời gian dài.