На виробничій лінії не потрібні жодні пояснення, щоб зрозуміти принцип термічного зсуву. Температура нагрівання, яка має становити 110°C, може піднятися до 112°C. Критичні розміри елемента змінюються на кілька нанометрів ще до завершення процесу нагрівання. Це не теорія – це реальність.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми встановлюємо термопару типу K прямо в блок нагріву напівпровідників, так щоб вона вимірювала температуру поверхні пластини, а не поверхні самого нагрівача. Це дозволяє забезпечити контроль температури з точністю ±0,1°C по всій поверхні пластини. Датчик знаходиться в корпусі з високочистого кварцу чи металу, який підходить для використання в чистих приміщеннях. Ергеметичний провідник запобігає утворенню частинок.
Цей пристрій може ефективно функціонувати в умовах класу 1–100 без виділення газів. Вихідні дані залишаються стабільними 24/7, тож профілі нагрівання фоторезисту залишаються однаковими з сеансу на сеанс.
Чому це ефективно в літографії
У літографії температура нагрівання фоторезисту впливає на його в’язкість та товщину, а це, у свою чергу, впливає на точність формування ліній. Завдяки цій термопарі можна строго контролювати температуру, тож процеси нагрівання відбуваються так, як і передбачено. Це призводить до меншої кількості помилок, меншої кількості переробок та більш стабільної якості продукції.
Крім того, споживання енергії також зменшується, оскільки контролер не намагається досягти заданої температури з перевищенням значень. Процес нагрівання відбувається швидше, а параметри процесу залишаються стабільними.
Кілька порад щодо використання
Термопара чутлива до допусків у монтажі. Необхідно використовувати вказані кріплення та крутний момент; неправильне кріплення призводить до зміщення точки вимірювання та появи похибок у контролі.
Переконайтеся, що тип з’єднувача та довжина проводів відповідають вимогам контролера – похибки компенсації швидко накопичуються.
Після технічного обслуговування чи заміни нагрівача необхідно провести коротке прогрівання для стабілізації пристрою. Врахуйте це під час планування процесу заміни, щоб уникнути несподіванок.