На поверхні пластини навіть зміна температури на 0,5°C під час процедури випалювання фотополімеру може призвести до зміни ширини ліній на кілька нанометрів – що перетворює якісний продукт на непридатний. Стабільність температури є не просто бажаним параметром; це необхідна умова для правильного проведення процесу. Ми розробили наші нагрівачі саме для таких умов, забезпечуючи температурну однорідність на рівні ±0,1°C на площі 150 мм та 200 мм.
Що є важливим у цьому процесі
Ми поєднуємо галогенові та ІЧ-випромінювачі короткої довжини хвилі з кварцовими відбивачами, щоб енергія потрапляла саме туди, де це необхідно. Це дозволяє зменшити теплову масу та покращити точність контролю температури. Повторюваність температури становить ±0,5°C в діапазоні від 90°C до 250°C, тож процеси випалювання проходять без перевищення заданих значень температури. Сумісність з умовами чистих кімнат класу 1–100 забезпечується за рахунок використання матеріалів з наднизьким рівнем випаровування, герметичних з’єднань та відсутності утворення частинок під час термічних циклів. Ефективність роботи нагрівачів зберігається протягом 5 000+ годин, з відхиленням інтенсивності світіння менше 5%.
Це має велике значення у процесі літографії та обробки фотополімерів: температурний режим є дуже важливим фактором. Наші нагрівачі забезпечують стабільність параметрів процесу з партії до партії, що дозволяє зменшити варіації ширини ліній та скоротити кількість необхідних корекцій. Швидке нагрівання скорочує час виконання процесу, а точність контролю температури дозволяє економити енергію. Надійність нагрівачів проявляється у меншій кількості неспланованих несправностей та стабільному рівні частинок на поверхні пластини.
Кілька практичних порад: ці нагрівачі потребують відповідних джерел живлення та каліброваних пірометрів для ефективного контролю температури. Якщо їх встановлювати у існуючі системи, може знадобитися деяка механічна налаштування та оновлення параметрів процесу. Обов’язково враховуйте умови чистих кімнат під час встановлення нагрівачів, а також враховуйте криву зношування нагрівачів – ми надаємо дані цієї кривої, щоб ви могли ефективно контролювати процес.