На виробничій лінії пластинка, яка виходить з процесу чищення, ніколи не є просто „вологою“. Це є проблемою – залишкова волога може призвести до утворення мікромостів та порушення структури патерну саме тоді, коли потрібно зберегти правильну геометрію фоторезисту.
Традиційне сушіння може спричинити наявність температурних градієнтів на поверхні пластинки. Ці градієнти не залишаються лише теоретичними проблемами – вони призводять до змін товщини ліній на поверхні пластинки. Ми створили інфрачервоні обігрівачі для сушіння пластинок, щоб усунути цей фактор.
Що насправді має значення з технічної точки зору: Наші короткохвильові інфрачервоні випромінювачі забезпечують однорідність температури на всій поверхні пластинки на рівні менше ніж міліметра. Крім того, ми підтримуємо стабільність температури під час процедур нагрівання фоторезисту в межах ±0,1°C.
Кварцово-галогенне джерело енергії забезпечує швидке та ефективне передавання енергії, тож час реакції системи оцінюється в мілісекундах, а не хвилинах. Повторюваність результатів також є важливою характеристикою – вона забезпечується завдяки вбудованій системі керування.
У кожній зоні використовується система закритого контролю температури, автокорекція параметрів PID, а також калібрувальні криві, які відповідають стандартам NIST. Результатом є процес, якому можна довіряти, серія за серією.
Чому це підходить для нашої практики: У приміщеннях для літографії та процедур нанесення/нагрівання обігрівачі можуть ефективно функціонувати в умовах класу 1–100. Дизайн обігрівачів забезпечує відсутність частинок, що допомагає зменшити кількість дефектів та підвищити якість продукції.
Використання енергії зменшується, оскільки нагрівається саме об’єкт, а не вся кімната. Швидкий час стабілізації температури скорочує час виконання процедури, не впливаючи при цьому на температурний бюджет.
Профілі фоторезисту залишаються стабільними – чи то перша пластинка, чи тисячна – тож не потрібно багато часу на доопрацювання чи викидання продукції.
Практичні деталі, з якими доведеться мати справу: Необхідна точна налаштування положення обігрівача відносно пластинки, а також чистий профіль потужності. Зниження напруги та електромагнітні перешкоди можуть погіршити роботу системи керування. Ми рекомендуємо використовувати спеціальні фільтри для забезпечення оптимальної роботи обігрівача.
Після налаштування обігрівач може працювати 24/7 з мінімальним обслуговуванням. Однак термін служби випромінювачів є обмеженим – рекомендується замінювати їх через 5 000 годин роботи, щоб зберегти однорідність параметрів.