Wafer Kurutma Sürecindeki Felaketlerin Önlenmesi
Yüksek kapasiteli yarı iletken tesislerinde, kızılötesi lambaların patlaması sadece bir “teknik arıza” ya da küçük bir kesinti değildir; bu tam anlamıyla bir felakettir.
Düşünün: Kuvars tüpü kırılırsa, aniden cam parçaları ve halojen gazları wafler üzerine düşer. Bir patlama sonucunda tüm ürünler boşa gider. Bu tür durumlar, her mühendisi işten ayrılmak istemeye iten durumlardır.
Biz de bunun asla olmamasını sağlamak için özel dijital kontrol cihazları ve lamba sistemleri geliştirdik.
Isının Yönetimi
Bu tür patlamaların çoğu termal şok nedeniyle meydana gelir. Eğer lambaya tam voltajla güç verilirse, kuvars bunu kaldıramaz. Güç çok fazla ve çok yüksek olur; böylece tüp kırılır.
Dijital kontrol cihazlarımız, güç artış sürecini çok daha yumuşak bir şekilde yönetir. Ani bir artış yerine güç düzenli olarak ayarlanır. Böylece donanım için daha iyi koşullar sağlanır.
Ayrıca soğutma da önemlidir. Yüksek güçlü lambalar inanılmaz miktarda ısı üretir. Eğer soğutma sistemi yetersizse, tüpün uçları aşırı ısınır. Biz ise güç çıkışını tüpün uzunluğuyla mükemmel şekilde dengeleyerek hiçbir noktanın erime noktasına ulaşmasını engelliyoruz.
Gerçekten Koruma Sağlayan Donanım
Yazılımlar harika olsa da, fiziksel korumalar da gereklidir.
Biz, halojen döngüsünü stabil tutan özel bir kaplama ve güçlendirilmiş kuvars malzemesi kullanıyoruz. Bu sayede filaman daha uzun süre dayanır.
Ancak en önemli koruma yöntemi, fiziksel bir koruma kalkanıdır. Eğer tüp patlarsa, kalkan parçaların waflere temas etmesini engeller.
Ayrıca R7s veya Sk15 konektörlerini kullanıyoruz. Neden mi? Çünkü gevşek bağlantılar elektrik arkı oluşmasına neden olur. Elektrik arkları ise sıcak noktalar oluşturur. Sıcak noktalar da arızalara yol açar. Bu basit bir zincirleme reaksiyondur ve biz de sıkı bağlantılarla bu zinciri kırıyoruz.
Tercihlerin Gerçekleri
İşin gerçeği şudur: Yüksek yoğunluklu kısa dalga lambaları, wafleri kurutmak için en hızlı yöntemdir. Verimlilik açısından mükemmeldirler. Ancak bu hız, kuvarsa büyük baskı yaratır.
Lambaları zorlayabilirsiniz, ancak lambaların çalışma saatlerini çok dikkatli takip etmelisiniz. Zamanla kuvars kırılgan hale gelir.
Bizim tavsimimiz ise sıkı bir değişim programına uymaktır. Planlı aralıklarla lambaları değiştirmek, eski lambalarla biraz daha çalışmaya çalışarak binlerce waferin zarar görmesinden çok daha ucuzdur.