Litografideki bu işlemde, hafif ısıtma işlemi sadece basit bir ısınma işlemi değildir. Bu işlem, çözücünün dağılımını belirler, CD’nin özelliklerini şekillendirir ve gün boyunca karşılaşacağınız hat kenarlarının pürüzlülüğünü belirler. Eğer ısıtabilir plaka ±2°C kadar saparsa, işlem sonuçları hızla kötüleşir. Reddedilen ürünler artar. Bu tür değişkenlikleri ortadan kaldırmak için wafer işlemleri için orta dalga inframerah ısıtıcılar kullanıyoruz.
Teknik açıdan önemli olanlar
Orta dalga inframerah ısıtıcılar, yüzeyi değil, fotoresist tabakasının tamamını ısıtır. Böylece daha hızlı bir ısınma sağlanır ve gecikme olmaz. Aktif alan üzerindeki sıcaklık uniformitesini ±0.1°C içinde tutuyoruz; tekrarlanabilirliği ise ±0.05°C civarındadır. Isıtıcı elemanlar, gaz salımı veya parça dökülmesini engelleyecek şekilde mühürlü kuvars kutuların ardında yer alır. Isıtıcı gövdesi Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır ve her yüzey pasifleştirilmiştir; böylece 24/7 çalışmalarda bile parça sayısı sabit kalır. Sıcaklık kontrolü, ısıtıcı bloğunda değil, wafer düzleminde gerçekleşir.
Pratikte neden işe yarar?
Fotoresist ısıtma işleminde, çözücünün hızlı ve eşit şekilde uzaklaştırılması gerekmektedir. Ayrıca, chuck hareket ederken bile sabit bir sıcaklık seviyesinin korunması önemlidir. Ortalama dalga boylu ısıtıcılarımız, saniyeler içinde istenen sıcaklığa ulaşır ve orada kalır; böylece her wafer aynı ısıl koşulları yaşar. Bunun sonucunda CD kontrolü daha hassas hale gelir, yeniden işlenmesi gereken ürünler azalır ve sıcaklık farklarından dolayı oluşan sorunlar ortadan kalkar. Ayrıca enerji tasarrufu da sağlanır; çünkü ısıtıcı elemanlar ısıyı ihtiyaç duyulan yerlere yönlendirir ve düşük termal kütle sayesinde bekleme sırasındaki enerji kaybı azalır.
Birkaç pratik not
Ortalama dalga boylu ısıtıcılar, silisyum üzerindeki organik filmler için uygundur; ancak metaller veya kalın dielektrik tabakalar üzerindeki emisyon farklılıklarına karşı hassastır. Reçeteyi belirlemek ve ısıl koşulları doğrulamak için kısa bir test süreci gereklidir. Kurulum sırasında temiz bir güç kaynağı ve wafer chuck ile sağlam bir mekanik bağlantı gereklidir; milimetre cinsinden bile oluşabilecek hatalar, sıcaklık uniformitesini bozar. Sistem hizalaştığında minimum bakım gerektirir. Yedek parça değişimi gerektiğinde bunu planlayabilirsiniz; gece yarısı aniden çağrılmazsınız.