Üretim sürecinde, fotoresistlerin ısıtılması sırasında ortaya çıkan termal değişiklikler hayali bir durum değildir. Bu değişiklikler, çizgi genişliklerindeki dalgalanmalar, zayıf yapışma ve verimlilik kaybı şeklinde kendini gösterir. Eğer fırının çalışma parametreleri bozulursa, bundan en çok etkilenen taraf yonga olur. Biz de bu tür durumları önlemek için, bu kızılötesi lambaları tasarladık; böylece termal parametreler her döngüde sabit kalır.
Burada önemli olan şey basittir: kontrol. Bu lambalar, yaygın olarak kullanılan fotoresistlerin emdiği bölgede hızlı tepki veren ve spesifik spektrum kontrolüne sahip kısa dalga boylu kızılötesi ışık üretir. Yonga yüzeyindeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C içinde kalır ve 10.000 döngü boyunca bu değer ±0,2°C civarında sabit kalır. Temiz oda koşulları da sağlanmaktadır; kuvars kaplamalar ve seramik parçalar ISO Sınıfı 1–100 standartlarına uygundur; ayrıca parçacık salınımı ve gaz salınımı da sıfırdır. Güç yoğunluğu ise işlem için gerekli olan termal değerlere göre ayarlanır; böylece yumuşak ısıtma sırasında çözücüler tamamen uzaklaştırılır ve sert ısıtma sırasında da stabil bir bağlanma sağlanır.
Litografi sistemlerinde ve kaplama/ısıtma işlemlerinde bu lambalar, sadece sensör düzeyinde değil, aynı zamanda yonga yüzeyinde de termal profilin stabil kalmasını sağlar. Bu hassasiyet sayesinde CD’deki değişiklikler azalır, atık oranları düşer ve kalifikasyon süreleri kısalar. Ayrıca sistem hızla belirlenen değerlere ulaşır ve orada kalır; bu da enerji tasarrufu sağlar.
Güvenilirlik ise çalışma süresiyle gösterilir. Bizim ürünlerimiz 5.000 saatten fazla süre boyunca kesintisiz çalışabilmekte ve verimlilik kaybı %5’in altındadır. Büyük ölçekli alıcılar için bu durum, öngörülebilir bakım periyotları, stoktaki yedek parça sayısının azalması ve tutarlı bir işlem performansı anlamına gelir.
İşte doğru şekilde uygulanması gereken pratik detaylar: Kurulum oldukça basittir, ancak hizalanma toleransı oldukça düşüktür. ±0,1°C’lik homojenlik aralığını korumak için odak mesafesi ve yansıtıcı geometrisinin tekrar kontrol edilmesi gerekir. Eğer egzoz yolunun boyutları uygun şekilde ayarlanmazsa, cihazın sıcaklığı 10–15°C daha yüksek olacaktır. Ayrıca voltaj değişimlerinin %2’nin altında olması gerekmektedir; uzun vadede belirlenen değerlerin stabil kalması için yerel bir line kondisyonlayıcı kullanmak en iyi yöntemdir.