ในกระบวนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์นั้น การอบด้วยความร้อนไม่ใช่เพียงการอุ่นวัสดุเบื้องต้นเท่านั้น แต่เป็นขั้นตอนสำคัญที่ช่วยกำหนดโครงสร้างของสารละลายที่ใช้ กำหนดลักษณะของผิววัสดุ และกำหนดความขรุขระของผิววัสดุซึ่งจะมีผลต่อคุณภาพของวัสดุตลอดทั้งวัน หากอุณหภูมิของเตาอบเพิ่มขึ้นหรือลดลงถึง ±2°C ช่วงอุณหภูมิที่เหมาะสมก็จะลดลงอย่างรวดเร็ว ส่งผลให้มีวัสดุที่ไม่ผ่านมาตรฐานเพิ่มขึ้น เราจึงสร้างเตาอบแบบอินฟราเรดคลื่นกลางขึ้นมา เพื่อลดความผันผวนดังกล่าว
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค เตาอบแบบอินฟราเรดคลื่นกลางจะทำหน้าที่ให้ความร้อนกับวัสดุโฟโตรีซิสต์ในระดับมวล ไม่ใช่เพียงแค่บนพื้นผิวเท่านั้น ทำให้เกิดการเพิ่มอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว และมีความล่าช้าน้อย นอกจากนี้ เรายังสามารถควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ในบริเวณที่มีการใช้งาน และสามารถควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระหว่างการผลิตได้ในช่วง ±0.05°C อีกด้วย ตัวเครื่องอบถูกออกแบบมาให้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และพื้นผิวทั้งหมดถูกป้องกันไม่ให้มีฝุ่นเกาะ ทำให้จำนวนฝุ่นคงที่ แม้จะมีการทำงานตลอด 24 ชั่วโมงก็ตาม การควบคุมอุณหภูมิจะถูกทำในระดับของวัสดุโดยตรง ไม่ใช่ที่ตัวเครื่องอบ
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลจริง ในกระบวนการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์ จำเป็นต้องกำจัดสารละลายออกอย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ และต้องมีการอบที่มีความเสถียร โดยที่อุณหภูมิจะคงที่แม้ว่าวัสดุจะเคลื่อนที่ไปมาก็ตาม เตาอบแบบอินฟราเรดคลื่นกลางของเราสามารถทำให้อุณหภูมิถึงค่าที่ต้องการได้ภายในไม่กี่วินาที และคงอุณหภูมิไว้ได้ ทำให้วัสดุแต่ละชิ้นได้รับความร้อนในระดับเดียวกัน ส่งผลให้สามารถควบคุมความแม่นยำของวัสดุได้ดีขึ้น ลดจำนวนวัสดุที่ต้องทำใหม่ และเพิ่มประสิทธิภาพในการผลิตได้ นอกจากนี้ ยังช่วยประหยัดพลังงาน เพราะตัวเครื่องอบจะส่งความร้อนไปยังจุดที่จำเป็นเท่านั้น และมีมวลความร้อนที่น้อย ทำให้ไม่มีการสูญเสียพลังงานขณะที่เครื่องอยู่ในสภาพพร้อมใช้งาน
ข้อควรระวังบางประการ เตาอบแบบอินฟราเรดคลื่นกลางนี้เหมาะสำหรับการใช้กับฟิล์มอินทรีย์บนซิลิคอน แต่มีความไวต่อความแตกต่างของค่าอีมิสเซียนซีของโลหะหรือวัสดุที่มีความหนามาก ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีการทดสอบก่อนการใช้งานจริง เพื่อกำหนดค่าที่เหมาะสมและยืนยันคุณภาพของวัสดุ นอกจากนี้ การติดตั้งเครื่องอบจำเป็นต้องมีแหล่งจ่ายไฟที่สะอาด และมีอินเตอร์เฟซที่มั่นคงกับวัสดุที่ใช้ในการอบ หากมีความเบี่ยงเบนของอุณหภูมิเพียงเล็กน้อย ก็อาจส่งผลให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิเปลี่ยนแปลงได้ เมื่อเครื่องอบถูกติดตั้งอย่างถูกต้องแล้ว ก็สามารถใช้งานได้โดยไม่ต้องมีการบำรุงรักษามากนัก และสามารถกำหนดเวลาการเปลี่ยนชิ้นส่วนได้ตามที่ต้องการ ไม่จำเป็นต้องมีการแจ้งเตือนในช่วงกลางคืน