บนพื้นโรงงาน คุณไม่สามารถเรียกการพลาดช่วงเวลาการอบหรือการเปลี่ยนแปลงเวลาการอบแห้งว่าเป็นปัญหาเอกสารได้ คุณเรียกสิ่งนั้นว่าเศษชิ้นงานเสีย
เวลาการอบซอฟต์เบคและฮาร์ดเบคของโฟโตเรซิสต์กำหนดการควบคุม CD และการยึดติดตั้งแต่เริ่มต้น ในกระบวนการบรรจุ ความชื้นตกค้างจะแสดงผลเป็นการหลุดลอกหลังจากการขึ้นรูปและการรีโฟลว์
ตัวจับเวลาของเตาอบไม่ใช่แค่เครื่องจับเวลาเท่านั้น แต่ต้องเป็นฐานของกระบวนการ
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
ตัวจับเวลาสำหรับเตาอบอบแห้งเวเฟอร์นี้ให้เวลาที่ซ้ำได้ด้วยความแม่นยำตั้งจุด ±0.1% ตลอดรอบการอบและอบแห้ง และยังเก็บเวลาต่อเนื่องแม้ไฟดับด้วยหน่วยความจำไม่ลบเลือน มันสามารถเชื่อมต่อกับ PLC ของเตาอบผ่านรีเลย์แบบแห้งและอินพุต 4-20 mA และบันทึกเวลา อุณหภูมิ และสัญญาณเตือนไปยัง MES เพื่อการตรวจสอบย้อนหลังที่แม่นยำ
หน้าจอแสดงผลอ่านได้ชัดเจนจากปลายแถว แม้ในสภาพแสงน้อย ส่วนติดต่อใช้งานถูกออกแบบให้เรียบง่ายเพื่อจุดประสงค์เดียวคือ ลดความคลาดเคลื่อนของผู้ปฏิบัติงาน
การควบคุมงบประมาณความร้อนสะท้อนในงาน เวลาที่สม่ำเสมอช่วยให้โปรไฟล์โฟโตเรซิสต์คงที่และป้องกันการอบแห้งมากเกินไปซึ่งอาจทำให้สารตกค้างแข็งตัวและเพิ่มจำนวนอนุภาค
เหตุผลที่ใช้งานได้จริง
ในห้องคลีนรูมระดับ Class 1–100 ตัวจับเวลาช่วยควบคุมรอบเตาอบได้โดยไม่เพิ่มความซับซ้อน กระบวนการโฟโตเรซิสต์จึงทำซ้ำได้: ช่วงเวลาอบซอฟต์เบคและฮาร์ดเบคอยู่ในสเปค และเห็นการซ้อนทับและความสม่ำเสมอของ CD ที่ดีขึ้น
สายการบรรจุตัดของเสียที่เกี่ยวข้องกับฟองอากาศจากความชื้นเพราะเวลาการอบแห้งถูกบังคับใช้อย่างเคร่งครัดในแต่ละกะ การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากตัวจับเวลาสนับสนุนโปรไฟล์การแช่แบบเป็นขั้นตอนที่หลีกเลี่ยงการแช่อุณหภูมิสูงเกินจำเป็น
ผลลัพธ์คือจำนวนความผิดพลาดลดลง ขอบเขตการควบคุมเข้มงวดขึ้น และเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดน้อยลง
สิ่งที่ควรรู้ตั้งแต่ต้น
การติดตั้งใหม่ทำได้ง่ายกับเตาอบส่วนใหญ่ แต่ควรตรวจสอบประเภทเซ็นเซอร์ที่มีอยู่ ระดับแรงดันรีเลย์ และเส้นทางการสื่อสารก่อนติดตั้ง ตัวจับเวลาสามารถทำงานร่วมกับโครงสร้างไฟฟ้าเตาอบมาตรฐานได้ แต่ไม่สามารถแก้ไขปัญหาเครื่องทำความร้อนที่อ่อนหรือการไหลของอากาศที่ไม่ดีได้ — ประสิทธิภาพยังขึ้นอยู่กับความสม่ำเสมอของความร้อนในเตาอบเอง
ควรทำการทดสอบเริ่มต้นสั้นๆ เพื่อตรวจสอบความสัมพันธ์ระหว่างจุดตั้งค่าตัวจับเวลากับการวัดระดับเวเฟอร์ในกระบวนการจริงของคุณ