
อย่าปล่อยให้อุปกรณ์ทำความร้อนมาทำลายผลผลิตของคุณอีกเลย
หากคุณใช้ห้องสะอาดระดับ Class 100 คุณคงรู้ดีถึงความยากลำบากที่เกิดขึ้น แค่มีเศษวัสดุเล็กๆ เพียงชิ้นเดียว หรือมีก๊าซที่เกิดจากวัสดุบางชนิดออกมาเพียงเล็กน้อย ก็อาจทำให้ชิ้นงานทั้งหมดกลายเป็นขยะได้ มันน่าหงุดหงิดมาก อุปกรณ์ทำความร้อนแบบทั่วไปไม่สามารถใช้งานในสภาพแวดล้อมแบบนี้ได้ เพราะมันมักจะเกิดการสลายตัว หรือมีการปล่อยก๊าซออกมาในช่วงเวลาที่ควรจะมีความเสถียร
เราได้คิดหาวิธีที่ดีกว่านี้ขึ้นมา เราใช้หลอดไฟ IR ที่ทำจากควอตซ์สังเคราะห์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งถูกออกแบบมาเฉพาะสำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์
ปัญหาของควอตซ์แบบ “ทั่วไป”
หลอดไฟ IR ส่วนใหญ่ใช้ควอตซ์ธรรมดา แต่ควอตซ์เหล่านั้นมักมีสารปนเปื้อนและสารเชื่อมต่างๆ ซึ่งจะสลายตัวไปในช่วงไม่กี่ชั่วโมงแรกของการใช้งาน ในห้องปฏิบัติการ ช่วงเวลานี้ถือเป็นช่วงเวลาที่เลวร้ายมาก
เราได้กำจัดสารปนเปื้อนเหล่านั้นออกไปหมด โดยใช้ซิลิกาที่มีความบริสุทธิ์สูง ทำให้ไม่มีความเสี่ยงจากสารปนเปื้อนทางโลหะอีกต่อไป คุณจะไม่ต้องกังวลเรื่องการสลายตัวของสารปนเปื้อนในช่วงที่อุณหภูมิเปลี่ยนแปลงอีกต่อไป มันสะอาดจริงๆ
การให้ความร้อนในจุดที่จำเป็นจริงๆ
หลอดไฟเหล่านี้สามารถส่งพลังงานในช่วงคลื่นอินฟราเรดสั้นๆ ได้ นั่นหมายความว่าพลังงานจะถูกส่งตรงไปยังพื้นผิวของแผ่นชิป ไม่เสียเวลาไปกับการทำความร้อนอากาศรอบๆ หรือทำความร้อนตัวเครื่องมือ
มันเร็วมากจริงๆ
เนื่องจากการเพิ่มอุณหภูมิเกิดขึ้นอย่างรวดเร็ว และการควบคุมอุณหภูมิก็แม่นยำ คุณจึงสามารถออกแบบเครื่องมือให้มีขนาดเล็กลงได้ โดยไม่ต้องเสี่ยงถึงประสิทธิภาพการทำงานของเครื่องมือ
ข้อเสีย (เพราะย่อมมีเสมอ)
ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสามารถทนต่ออุณหภูมิสูงได้ แต่อุณหภูมิสูงขนาดนั้นก็จะสร้างแรงกดดันมากให้กับอุปกรณ์กันสุญญากาศและตัวเชื่อมต่อทางไฟฟ้า
หากคุณเพิ่มกำลังไฟเพื่อเพิ่มประสิทธิภาพการทำงาน คุณต้องมั่นใจว่าระบบระบายความร้อนสามารถรับมือกับความร้อนที่เกิดขึ้นได้ มิฉะนั้น เครื่องมือของคุณอาจเสียหาย หรือระบบอาจหยุดทำงานเพื่อป้องกันไม่ให้เครื่องมือเสียหาย
เราออกแบบหลอดไฟเหล่านี้ให้สามารถใช้แทนหลอดไฟแบบเดิมได้โดยตรง เราให้ความสำคัญกับคุณภาพของไส้หลอดไฟและความบริสุทธิ์ของแก้วมาก ทำให้คุณไม่ต้องกังวลเรื่องสารปนเปื้อนในอากาศอีกต่อไป และสามารถมุ่งเน้นไปที่การเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตของคุณได้เลย