Как сохранить чистоту в помещении класса 100
Когда вы работаете на производстве полупроводников, контроль температуры – это лишь половина успеха. Настоящей проблемой является загрязнение. В условиях класса 100 даже один крошечный кусочек полимера или пыли может испортить качество продукции и сорвать всю работу.
Поэтому мы не используем обычные нагреватели. Мы используем специальные лампы из высокочистого кварца, а также провода с тефлоновой изоляцией. Вот почему это так важно.
Преимущества высокочистого кварца
Большинство кварцевых ламп содержат металлические примеси. При высоких температурах эти примеси могут выделяться. Для производства полупроводников это катастрофа.
Мы используем синтетический кварц высокой чистоты, чтобы этого не происходило. Эти лампы используют коротковолновое инфракрасное излучение, что позволяет им передавать энергию непосредственно на подложку. Таким образом не тратится времени на нагрев окружающего воздуха. Это очень важно, ведь это снижает возникновение конвективных токов, которые могут поднимать пыль с пола.
Почему провода часто становятся причиной проблем
Обычно первыми выходят из строя именно провода. Если использовать стандартные PVC- или силиконовые изоляторы, они начинают выделять токсичные вещества при нагревании. Эти вещества попадают на поверхность кремния. Это серьезная проблема.
Мы используем тефлон (PTFE) в качестве изолятора для проводов. Он остается твердым при высоких температурах и не выделяет вредных веществ. Он химически инертен, поэтому его можно использовать как в вакууме, так и в условиях высоких температур. Никаких проблем.
Несколько советов
Эти лампы выделяют много тепла в небольшом пространстве. Это эффективно, но требует внимания к кронштейнам, на которых они montируются. Если система охлаждения не справляется с выделяемым теплом, корпус лампы может деформироваться.
Мы разработали эти лампы так, чтобы они могли заменять существующие нагреватели. Это позволяет получить источник света, который не выделяет частиц и быстро достигает нужной температуры.
Обязательно проверьте, соответствует ли мощность источника питания мощности лампы. В противном случае филамент может перегреться раньше времени.