На производственном участке достаточно изменения температуры на 0,5°C во время обработки фоторезиста, чтобы ширина линий изменилась на несколько нанометров. Это приводит к тому, что большое количество готовой продукции становится бракованным. Стабильность температуры — это не просто желательное условие; это неотъемлемая часть самого процесса. Наши нагреватели разработаны с учетом этих требований: они обеспечивают температурную однородность на уровне ±0,1°C на площади 150 мм и 200 мм для подложек различных типов.
Что действительно важно
Мы используем галогенные и инфракрасные излучатели короткой длины волны в сочетании с кварцевыми отражателями, чтобы направлять энергию туда, где это необходимо. Это позволяет снизить тепловую массу и повысить точность контроля температуры. Повторяемость температуры составляет ±0,5°C в диапазоне от 90°C до 250°C. Благодаря этому процессы нагрева проходят без смещений значений температуры. Соответствие стандартам чистых помещений класса 1–100 обеспечивается за счет использования материалов с минимальным количеством выбросов газов, герметичных соединений и отсутствия частиц в процессе термических циклов. Работоспособность нагревателей сохраняется более 5,000 часов при изменении интенсивности излучения менее чем на 5%.
Это имеет большое значение в процессе литографии и обработки фоторезиста: температурный режим очень строгий. Наши нагреватели обеспечивают стабильность параметров процесса на протяжении всего времени его выполнения, что снижает изменчивость ширины линий и минимизирует необходимость переработки продукции. Быстрый нагрев сокращает время выполнения процесса, а высокая точность позволяет сократить потребление энергии за счет избежания чрезмерной компенсации. Надежность нагревателей проявляется в минимизации числа неплановых операций по ремонту, а также в стабильном количестве частиц на подложке.
Несколько практических замечаний: для правильной работы этих нагревателей необходимы соответствующие источники питания и калиброванные пирометры. Использование их в старых установках может потребовать небольших механических корректировок и изменения параметров работы устройства. Необходимо также учитывать специфики чистых помещений при монтаже нагревателей. Мы предоставляем данные о кривой старения нагревателей, что позволяет контролировать процесс его работы.