Op de productielijn zet de planner het proces niet op pauze wanneer er een lamp defect raakt. De verschillende aanbakstappen – zacht aanbaken, hard aanbaken en aanbaken na de belichting – vinden plaats binnen een vaste thermische omgeving. Als de warmtebron faalt, heeft dat gevolgen voor het product: het profiel van de fotoresist verandert, de cruciale afmetingen wijzigen en het product wordt onbruikbaar.
Wat technisch belangrijk is We hebben de infraroodlamp voor het aanbaken van halfgeleiders ontworpen rondom een kortgolfinfraroodemitter die zich bevindt in een kwartsomhulsel. Dit is de beste oplossing wanneer je snel reactietijd en stabiele spectrale uitvoer nodig hebt, herhaaldelijk per cyclus. Het doel is een thermische uniformiteit van ±0,1°C op het niveau van de wafer. Dit wordt bereikt met behulp van een gekalibreerde lampenarrangement en een gesloten temperatuurregeling die de gewenste temperatuur behoudt, zonder dat er sprake is van overtollige warmte.
De lamp is geschikt voor gebruik in zuiverruimtes van klasse 1–100. De materialen en onderdelen die worden gebruikt, zijn zo gekozen dat er zo min mogelijk deeltjes worden gegenereerd. De emitter is ontworpen voor een lange levensduur: meer dan 5.000 uur continu gebruik, met minder dan 5% daling in prestaties. Het hele apparaat is zo ontworpen dat de reproduceerbaarheid constant blijft, zowel tussen verschillende batches als tussen verschillende apparaten.
Waarom dit werkt Bij litografie en het bewerken van fotoresist bepaalt de aanbaktemperatuur de snelheid waarmee oplosmiddelen worden verwijderd, de glasovergangstemperatuur en de selectiviteit bij het eten van het materiaal. Deze lamp zorgt voor de gewenste thermische omstandigheden, zodat er geen hete plekken of koude randen ontstaan. Hierdoor is er minder herwerk nodig, zijn de processen efficiënter en kan men beter plannen wat betreft de opbrengst.
In productielijnen waar geen pauzes worden genomen, is het belangrijk dat er geen onverwachte stilstanden optreden. We hebben de lamp zo ontworpen dat dit wordt bereikt, zodat het productieproces door kan gaan, zonder dat het afhankelijk is van onderhoud. De energieverbruik wordt verminderd door een snelle aanpassing van de temperatuur – er wordt minder energie verbruikt, zonder dat de thermische stabiliteit wordt aangetast.
Dingen om te weten Voor de installatie moet de lampenarrangement worden aangepast aan de geometrie van de kamer. Ook moet er goed worden gekeken of de stroomvoorziening en de aansluitingen overeenkomen met de specificaties van het apparaat. De lamp wordt erg heet, dus het is belangrijk om de bescherming, veiligheidsmechanismen en koelsysteem goed te controleren voordat de lamp wordt geïnstalleerd.
Plan de eerste kalibratie voor elke batch, zodat de uniformiteit van de temperatuur wordt vastgesteld. Daarna hoeft het systeem nauwelijks nog te worden gecalibreerd.