Op de productieafdeling zijn thermische schommelingen geen theoretisch fenomeen – ze komen tot uiting in schommelingen in de dikte van de lijnen en in problemen met de kwaliteit van het product. Bij RTP is de lamp degene die je daadwerkelijk bedient. Als het temperatuurprofiel afwijkt, wordt het profiel van de fotoresist verstoord. Hierdoor wordt er zinloos energie verspild.
Wat technisch gezien belangrijk is We kiezen voor halogeenlampen met kortegolflengte-infrarood licht, zodat het silicium de warmte direct en snel kan opnemen. Dit zorgt voor een snelheid van subseconden, zonder dat er sprake is van overschrijdingen. Over de hele actieve zone blijft de temperatuur binnen ±0,1°C – dit soort controle zorgt ervoor dat de kwaliteit van het product constant blijft. De kwartsomhulling en de geometrie van de gloeidraad zijn zo ontworpen dat de uitgangssnelheid gedurende meer dan 5.000 uur stabiel blijft, met een fluctuatie van minder dan 5%. De uitgangssnelheid moet worden aangepast aan de thermische massa van het proces: snel wanneer er sprake is van snelle verhitting, en gecontroleerd wanneer er sprake is van langzame verhitting.
Waarom dit werkt in de productie Je werkt in zuiverruimtes van klasse 1–100, waarbij het aantal deeltjes absoluut niet mag worden genegeerd. Deze lampen zijn zo ontworpen dat er geen deeltjesontstekingen optreden tijdens het thermische proces. Hierdoor hoef je je geen zorgen te maken over problemen met de ruimte of het wafer. De herhaalbaarheid van de temperatuur tussen verschillende batches zorgt er ook voor dat er minder producten moeten worden weggegooid.
Een hogere uniformiteit betekent minder producten die niet voldoen aan de specificaties. Een stabiele uitgangssnelheid zorgt er bovendien voor dat er geen energie wordt verspild aan compenserende maatregelen. Omdat de lamp snel reageert, kun je de tijd die nodig is om het proces af te ronden verkorten, waardoor de kosten per wafer omlaag gaan.
Dingen om in gedachten te houden De installatie is eenvoudig, maar de prestaties van de lamp hangen af van de alignering – de optische route en de reflectiviteit van de ruimte. Na het vervangen van de lamp, moet deze eerst even worden opgewarmd en gestabiliseerd voordat je kunt verwachten dat alles weer binnen de specifieke normen valt.
Controleer altijd de stroomsterkte en de aansluitingen om te zorgen dat ze overeenkomen met je RTP-platform. Zorg er ook voor dat het spectrum van de lamp overeenkomt met dat van je absorbertoestellen. Dit is belangrijk om het temperatuurprofiel voorspelbaar te houden, in plaats van te moeten gokken.