Op de productievloer zijn soft bake en hard bake niet zomaar “warmtestappen.” Het is een koorddansact. Een afwijking van 2°C zorgt ervoor dat je kritische afmeting (CD) niet meer klopt, en als de bake deeltjes veroorzaakt, zie je je opbrengst teruglopen. Wij hebben onze gecontroleerde-atmosfeer bake-lampen zo ontworpen dat deze twee faalwijzen worden voorkomen.
Wat er onder de motorkap echt toe doet
We gebruiken kortgolvige infrarood (SWIR) verwarming met kwarts-halogeenelementen, en de proceskamer is afgesloten en met stikstof gespoeld om zuurstof en vocht buiten te houden. Over de bake-zone is de temperatuuruniformiteit op waferniveau constant binnen ±0,1°C, met een herhaalbaarheid van de setpoint binnen ±0,2°C. Bij receptwisselingen stabiliseert het systeem binnen 5 seconden, zodat je gemengde producten kunt verwerken zonder langdurige, onnodige thermische inwerktijden.
Het systeem is geschikt voor cleanrooms Class 1–100: materialen met lage uitstoot en een gefilterd afvoerkanaal voorkomen dat het aantal deeltjes plotseling toeneemt.
Waarom dit werkt in lithografie
In de lithografie is het essentieel om steeds dezelfde fotoresistprofielen te krijgen, batch na batch, wafer na wafer. Deze lamp zorgt daarvoor door het thermische budget strak te beheersen — minder variatie in lijndikte, betere profielcontrole. De gecontroleerde atmosfeer vermindert huidvorming en het vasthouden van oplosmiddelen, wat resulteert in minder defecten en minder nabewerking.
Doordat SWIR direct verwarmt en de cycli korter zijn, daalt het energieverbruik. De unit is ontworpen voor 24/7 fabrieksgebruik, met onderhoudsintervallen die planbaar zijn — geen onverwachte stilstand.
Wat je correct moet uitvoeren bij installatie en onderhoud
Installatie vereist een dedicated cleanroom stroomcircuit en een stikstofvoorziening met juiste druk en zuiverheid. Als de gasaanvoer niet klopt, verslechtert de temperatuurstabiliteit.
De footprint is compact, maar er moet voldoende ruimte zijn voor afvoerkanaal en service-toegang.
Voor maximale uptime voer je preventief onderhoud uit op basis van lamplevensduur en inspectie van het kwartsvenster. Doe dit volgens schema om uniformiteit en deeltjesprestaties binnen specificaties te houden.