Het behouden van een schone omgeving: de werkelijkheid van het verwarmen van halfgeleiders
Als je ooit tijd hebt doorgebracht in een klasse-100 schone ruimte, weet je hoe het er aan toe gaat. Het gaat niet alleen om de luchtfilters. De echte nachtmerrie zijn de kleine deeltjes en gassen die uit je apparatuur ontsnappen en alles verpesten. Wat betreft de verwarmings-elementen is ‘bijna schoon’ simpelweg niet voldoende. Daarom maken we gebruik van synthetisch kwarts van hoge zuiverheid en goudcoatingen. Dit is de enige manier om daadwerkelijk een nul-contaminatie-niveau te bereiken.
Waarom we goud gebruiken
Denk maar aan een standaard infraroodlamp. Die geeft warmte overal af. Maar in een halfgeleidersinstallatie is het verspillen van energie om het chassis van de machine op te warmen – en het veroorzaakt ook problemen. Om dit op te lossen, plakken we een dunne laag goud op de achterkant van de kwartstube. Dit werkt als een spiegel: alle infrarode energie wordt naar voren gestuurd en rechtstreeks op de siliciumwafer gericht. Je vraagt je misschien af waarom we geen aluminium gebruiken. Simpel: aluminium oxideert. Wanneer dat gebeurt, vallen er kleine fragmenten af. En die kleine fragmenten kunnen schade toebrengen aan de siliciumwafer. Goud doet dit niet; het blijft stabiel, zelfs wanneer het erg heet wordt.
De materialen zijn belangrijk
We gebruiken kwarts van hoge zuiverheid, omdat we geen ionen in het materiaal willen hebben. Goedkoop glas bevat onzuiverheden die zich in de kamer verspreiden zodra het heet wordt. We reinigen onze buizen grondig, zodat er absoluut niets meer op het oppervlak zit. Binnenin bevindt zich het filament in een vacuüm of een ruimte gevuld met halogeen. Hierdoor blijft het kwarts niet donker worden na verloop van tijd. Dit zorgt ervoor dat de warmte gelijkmatig over de hele lamp wordt verdeeld.
Een paar dingen om in de gaten te houden
Deze lampen produceren veel warmte. Dankzij de goudcoating wordt er veel energie naar voren gestuurd, waardoor het doelpuntoppervlak snel de juiste temperatuur bereikt.Heel snel. Daarom moet je goed opletten met je PID-regelaars en koelsystemen. Als je koelsysteem de warmte niet goed kan wegvoeren, kunnen de seals of connectors beschadigd raken. We hebben deze lampen ontworpen als vervanging voor je huidige apparaten. Zorg ervoor dat je stroomvoorziening de benodigde vermogenspieken kan aan.