Stop met energieverlies door lucht: een betere manier om wafers te drogen
Halfgeleiderfabrieken willen graag koolstofneutraal worden. Maar als je kijkt naar de droogfase, blijkt dit vaak een enorme energieverspiller te zijn. Te veel machines maken nog steeds gebruik van ouderwetse convectiekookovens. Het is net alsof je een hele kamer probeert op te warmen alleen maar om één kop koffie warm te maken – je verspilt veel energie aan het opwarmen van de wanden van de kamer, terwijl je eigenlijk alleen de wafer wilt opwarmen. Hoe IR werkt We hebben overgestapt op kortegolf-infraroodlampen, omdat deze geen invloed hebben op de lucht. In plaats van te wachten tot de lucht opwarmt, bereiken de fotonen direct de oppervlakte van de wafer en zorgen ze voor onmiddellijk warmte. Het gaat erg snel: je bereikt de gewenste temperatuur al in seconden, niet in minuten. De cijfers (en waarom die belangrijk zijn) Tijdens een audit bekijken we één ding: de hoeveelheid kilowattuur per wafer. Door gebruik te maken van geconcentreerde IR-lampen, wordt deze enorme energieverbruik verminderd. Je hoeft niet meer te vechten tegen zware stalen muren. Bovendien gebruiken we pulsbreedtemodulatie om de energie precies te regelen. Het is net alsof je een dimmer hebt in plaats van een simpele aan/uit-knop. Hierdoor hoef je je geen zorgen meer te maken over te hoge temperaturen. En het beste van alles? Het energieverbruik daalt meestal met 20% tot 30%. Het nadeel: je kunt ze niet zomaar gebruiken IR-lampen leveren veel energie op in een kleine ruimte. Je kunt ze echter niet zomaar in een oud apparaat stoppen en klaar zijn. Als de koelsystemen niet goed genoeg zijn, kan de warmte die van de waferhouders afkomt, het apparaat beschadigen. Je riskeert dan dat je lampen kapotgaan of dat het substraat wordt beschadigd. Overstappen op IR betekent meer dan alleen een lamp vervangen. Het gaat erom om het hele energieverbruik van de fabriek te bepalen en die ‘onnodige warmte’ uit te bannen die jarenlang je budget heeft opgeëist.