Cara memanfaatkan sepenuhnya pemanas yang terdapat pada kereta pengangkut tersebut
Jika anda pernah bekerja di bilik bersih untuk penghasilan semikonduktor, anda pasti tahu betapa sukarnya tugas ini. Anda perlu memanaskan wafer yang berada di atas kereta pengangkut tersebut, tetapi untuk mengarahkan tenaga haba ke tempat yang sepatutnya sangatlah sukar.
Kebanyakan masa, haba tersebut akan tersebar ke mana-mana sahaja. Ia akan meninggalkan sumber haba dan memanaskan komponen-komponen di sekelilingnya, bukannya wafer itu sendiri. Ini merupakan pembaziran tenaga dan menyusahkan proses pengeluaran.
Rahsianya ialah penggunaan emas sebagai bahan reflektor.
Kami menggunakan reflektor yang dilapisi emas, kerana emas mempunyai keupayaan luar biasa dalam memantulkan radiasi inframerah. Ia dapat memantulkan lebih daripada 98% haba tersebut. Dengan cara ini, haba tersebut akan disalurkan ke arah yang tepat, bukannya tersebar ke seluruh tempat.
Yang terbaik ialah wafer akan mendapat lebih banyak haba tanpa perlu meningkatkan kuasa pemanasan. Ini akan membantu menjadikan proses pengeluaran lebih efisien. Selain itu, bahagian-bahagian lain pada kereta pengangkut juga akan tetap sejuk. Jika anda menggunakan kuasa yang tinggi tanpa reflektor yang baik, komponen-komponen di sekelilingnya boleh rosak. Kami juga telah meluangkan masa yang banyak untuk menyesuaikan geometri reflektor tersebut agar haba dapat disalurkan secara merata.
Pemasangan reflektor ini sangat mudah. Ia direka untuk dipasang pada sistem kereta pengangkut yang sudah ada. Kami memastikan titik fokusnya betul supaya haba dapat sampai ke wafer dengan tepat.
Namun, ada satu amaran penting:
Emas sangat sensitif. Jika minyak atau bahan kimia melekat pada permukaan reflektor tersebut, pengagihan haba akan terjejas. Pada mulanya, perubahan tersebut mungkin tidak ketara, tetapi akhirnya suhu wafer tidak akan lagi seragam.
Keinginan untuk meningkatkan kuasa pemanasan mungkin timbul, tetapi jangan lakukan itu. Itu akan merosakkan komponen pemanasan tersebut. Pastikan reflektor sentiasa bersih, dan sistem akan berfungsi dengan baik.