반도체 웨이퍼를 더 효과적으로 건조시키는 방법 세척 과정 이후의 건조 및 경화 과정은 정말 골칫거리입니다. 납이 없는 친환경적인 기준들이 점점 더 중요해지면서, 기존의 방식들은 더 이상 적합하지 않습니다. 그래서 우리는 방수 처리가 된 적외선 램프를 사용하고 있습니다. 이 램프들은 유해한 화학 용제를 필요로 하지 않으며, 전체 건조 과정에서 발생하는 탄소 배출량도 줄여줍니다. 적외선의 원리 일반적인 대류식 오븐을 생각해보세요. 부품이 열을 느끼기 전에 이미 많은 에너지가 공기를 가열하는 데 사용됩니다. 이는 낭비일 뿐입니다. 적외선은 달라집니다. 에너지를 직접 기판에 전달하기 때문에 중간 단계가 필요하지 않습니다. 세척된 물을 다루는 경우라면 반드시 방수 처리가 된 부품을 사용해야 합니다. 그렇지 않으면 습기가 들어와 석영 커버가 깨지고, 결국 단락이 발생할 수 있습니다. 누구도 화요일 아침에 그런 상황을 원하지 않습니다. 스트레스 없이 친환경적으로 작업하기 납이 없는 기준을 목표로 할 때, 새로운 오염물질이 들어가는 것을 막는 것이 중요합니다. 적외선은 “건조” 과정을 통해 작동하기 때문에, 속도를 높이기 위해 휘발성 유기 화합물(VOCs)이 필요하지 않습니다. 우리는 단파 또는 중파 적외선을 사용하여 물과 잔여물이 있는 부분을 정확하게 타격합니다. 이를 통해 모든 것이 빠르게 증발하지만, 전체 온도는 낮게 유지됩니다. 이는 섬세한 웨이퍼가 열에 의해 변형되거나 균열이 생기는 것을 방지하는 데 큰 도움이 됩니다. 단점들 (완벽한 것은 없다) 하지만 한 가지 문제가 있습니다. 고출력 램프는 강력한 성능을 제공하지만, 너무 뜨거워질 수 있습니다. 만약 램프의 공기 순환 장치가 제대로 되어 있지 않다면 문제가 생길 수 있습니다. 적절한 냉각 팬이 없으면 열이 축적되어 기계의 프레임이 변형되거나 센서가 손상될 수 있습니다. 이는 균형을 잡아야 하는 문제입니다. 좋은 소식은, 이 램프들은 기존의 구식 가열 요소들을 간단하게 대체할 수 있다는 점입니다. 교체만 하면 준비 시간도 줄어들고, 에너지 낭비도 없어집니다. 이렇게 하면 “친환경적인” 목표를 달성하면서도 웨이퍼를 잃는 일도 없습니다.