열 낭비를 막으세요: 골드 코팅 반사체가 효과적인 이유 실리콘 웨이퍼를 가열할 때 에너지가 여기저기로 새어나간다면, 그건 설계상의 문제입니다. 대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사체를 사용하지만, 문제는 알루미늄이 너무 많은 열을 흡수한다는 점입니다. 그 결과 웨이퍼가 아닌 램프 본체가 뜨거워집니다. 이는 분명한 낭비입니다. 그래서 우리는 금을 사용하는 것입니다. 금의 장점 금이 반짝이는 외관 때문에 사용되는 것이 아닙니다. 금은 알루미늄이나 연마된 강철보다 적외선을 훨씬 더 잘 반사합니다. 반사체에 정교하게 금 층을 입혀주면, 열이 흩어지지 않고 집중됩니다. 그 결과 웨이퍼에 집중된 에너지가 전달되므로, 더 높은 출력을 필요로 하지 않습니다. 에너지 소비를 관리하기 이러한 램프를 웨이퍼 가공 장비에 사용할 때는 균형을 맞추는 것이 중요합니다. 효과적인 방사능을 얻기 위해 램프는 매우 뜨거워집니다. 따라서 램프에서 발생하는 열을 효과적으로 식힐 수 있는 냉각 시스템이 반드시 필요합니다. 만약 공기 흐름이 원활하지 않다면, 램프가 과열되거나 전기 연결부가 손상될 수 있습니다. 공기를 깨끗하게 유지하기 클린룸에서는 오존이 큰 문제입니다. 오존은 결코 허용될 수 없는 오염물질입니다. 우리는 석영과 필라멘트의 화학 성분을 조정하여 오존이 생성되는 것을 막습니다. 이를 통해 가공 과정에서 사용되는 가스가 깨끗하게 유지되고, 웨이퍼 표면이 손상되는 것을 방지할 수 있습니다. 타협점 (완벽한 것은 없기 때문에) 금은 최고의 에너지 효율을 제공하지만, 금은 부드러운 재료입니다. 제발, 장비를 보호하기 위해 연마제가 들어간 천으로 램프를 닦지 마세요. 그렇게 하면 표면이 손상되고, 에너지 효율도 떨어집니다. 반드시 비접촉식 세척 방식을 사용하여 램프를 깨끗하게 유지해야 합니다. 마지막으로, 정렬이 매우 중요합니다. 램프가 조금이라도 기울어지면, 가열된 부분이 바뀝니다. 그러면 웨이퍼 전체에 불균일한 가열이 발생하여 다시 처음부터 시작해야 합니다.