공기를 가열하는 데 에너지를 낭비하지 마세요: 웨이퍼를 건조시키는 더 효율적인 방법 반도체 공장들은 탄소 중립을 실현해야 한다는 압박을 받고 있습니다. 하지만 건조 과정을 살펴보면, 에너지 효율 면에서는 여전히 문제가 많습니다. 여전히 많은 공장들이 구식의 대류식 오븐을 사용하고 있습니다. 이는 마치 한 잔의 커피를 데우기 위해 온 방 전체를 데우려는 것과 같습니다. 사실 우리가 신경 써야 할 것은 웨이퍼뿐인데, 굳이 방의 벽까지 데울 필요는 없습니다. IR이 실제로 어떻게 작동하는가 우리는 단파 적외선(IR) 램프를 사용합니다. 이 램프는 공기를 가열하는 과정을 생략하기 때문에 훨씬 효율적입니다. 대기가 따뜻해질 때까지 기다리는 대신, 광자가 웨이퍼 표면에 닿으면 즉시 열로 변환됩니다. 속도가 매우 빠릅니다. 몇 분이 아니라 몇 초 만에 원하는 온도에 도달할 수 있습니다. 수치와 그 중요성 공장을 점검할 때 우리가 확인하는 것은 바로 ‘웨이퍼당 소모되는 킬로와트시’입니다. 집중형 IR 배열을 사용하면 그런 엄청난 양의 열을 줄일 수 있습니다. 더 이상 두꺼운 강철 벽을 견뎌내야 할 필요도 없습니다. 게다가 펄스 폭 변조(PWM) 기술을 사용하여 에너지를 정밀하게 조절할 수 있습니다. 이는 마치 조명의 밝기를 조절하는 스위치와 같습니다. 그 결과, 온도를 넘어서는 일도 없어지고, 웨이퍼가 손상될 위험도 줄어듭니다. 가장 좋은 점은 전력 소비량이 20~30%나 줄어든다는 것입니다. 단점: 그냥 연결해서 사용할 수는 없습니다 IR 배열은 작은 공간에도 큰 효과를 발휘하지만, 그냥 기존의 장비에 그냥 넣어서 사용할 수는 없습니다. 만약 냉각 시스템이 제대로 작동하지 않는다면, 웨이퍼 홀더에서 반사된 열로 인해 장비가 손상될 수 있습니다. 그러니 IR 배열을 사용할 때는 전체 에너지 관리를 고려해야 합니다.