空気を温めるためにエネルギーを無駄にするのはやめましょう。ウェーハを乾燥させるためのより良い方法があります。 半導体製造工場では、カーボンニュートラルを実現するための圧力が高まっています。しかし、乾燥工程を見てみると、エネルギー効率の面で問題が多いです。依然として多くの工場で古式の対流型オーブンが使われています。これは、単にコーヒーを温めるためだけに部屋全体を暖めるようなもので、実際に重要なのはウェーハ自体です。そのため、大量のエネルギーが無駄に消費されてしまいます。 赤外線の仕組み 私たちは短波長の赤外線ランプを使用しています。これにより、空気を温める必要がなくなります。大気が温まるのを待つ代わりに、光子がウェーハ表面に当たって即座に熱に変わります。 非常に迅速です。数秒で所望の温度に到達します。 数字とその重要性 監査を行う際には、1枚のウェーハあたりにどれだけのキロワット時のエネルギーが使われているかを確認します。 集中型の赤外線アレイを使用することで、この大量の「熱容量」を排除できます。もはや重厚な鋼鉄製の壁と戦う必要はありません。また、パルス幅変調を利用してエネルギーを調整できます。これは、オン/オフのスイッチではなく、明るさを調整できるスイッチのようなものです。 これにより、温度が過剰に上昇することがなくなり、ウェーハが歪む心配もありません。最良な点は、電力消費量が通常20％から30％減少することです。 注意点：単純に「差し込むだけ」ではダメ ただし、赤外線アレイは非常に強力な力を持っているため、単純に古い装置に取り付けるだけではいけません。 冷却システムが十分でない場合、ウェーハホルダーから反射される放射熱が装置を破壊してしまいます。ランプが壊れたり、最悪の場合は基板が損傷したりします。 赤外線に切り替えるということは、単に電球を交換するだけではありません。工場全体のエネルギーバランスを考慮し、長年にわたって無駄に消費されてきたエネルギーを削減することです。