ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に生じる温度変動は、単なる仮定上の問題ではありません。これにより、線幅の揺らぎや接着力の低下、歩留まりの悪化といった問題が発生します。もしオーブンの温度制御が不安定になれば、被害を受けるのはウェーハです。私たちは、サイクルごとにその温度を安定させるために、特殊な赤外線ランプを設計しました。
重要なのは、正確な制御です。このランプは、一般的なフォトレジストが吸収する波長帯域で、迅速かつ正確に短波長の赤外線を放射します。そのおかげで、ウェーハ全体の温度均一性は±0.1℃以内に保たれ、10,000回のサイクルを繰り返しても±0.2℃以内の再現性が保たれます。クリーンルームでの使用にも適しており、石英製のケースやセラミック製の部品を使用しているため、ISOクラス1～100の基準を満たし、粒子の飛散や微量ガスの放出もありません。また、パワー密度はプロセスの要求に合わせて調整されているため、ソルベントを完全に除去しつつも、フォトレジストの溶融を防ぎ、安定した架橋処理が可能です。
リソグラフィーや塗布/加熱工程においては、このランプによってウェーハ表面の温度が安定し、センサーだけでなくウェーハ全体の温度が安定します。このような精度により、CDの変動を抑え、スクラップを減らし、試験時間を短縮できます。また、システムが迅速に所定の温度に到達し、過剰な温度上昇を防ぐため、エネルギーの節約にもつながります。
信頼性は、稼働時間に表れます。私たちの製品は、5,000時間以上連続して稼働しても、出力の低下が5％未満です。大量購入者にとっては、予測可能なメンテナンススケジュールが実現し、在庫の削減や安定したプロセス効率が得られます。
以下は、適切に設置するための具体的なポイントです。 設置自体は簡単ですが、位置合わせの精度が重要です。±0.1℃の均一性を維持するために、焦点距離や反射器の形状を慎重にチェックしてください。排気経路のサイズが適切でない場合、モジュールの温度は10～15℃高くなります。また、電圧の変動は2％未満に抑えてください。局所的なラインコンディショナーを使用すれば、長期的に所定の温度を安定させることができます。