粉塵の発生を防ぐ：クラス100の清浄室でIRヒーターを使うための方法
もし、クラス100の清浄室で通常のIRヒーターを使ってみたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。ヒーターを動かし始めると、すぐにウェーハやレンズが損傷してしまいます。なぜでしょうか？それは、ほとんどのヒーターが実際には微粒子の発生源だからです。ヒーターからは剥がれ落ちた破片や、製品の近くにあってはいけないガスが漏れ出します。
私たちは、この問題を解決する方法を見つけました。その秘訣はとてもシンプルです——高純度の石英と、よく磨かれたアルミニウムです。
石英の重要性
普通のガラスでは、高温に耐えることができず、粉塵が発生してしまいます。これは目に見えない小さな破片ですが、清浄室では致命的です。
そこで、私たちはランプの容器として高純度の合成石英を使用しました。これにより、熱衝撃にも強く、また汚れも付きません。破片が発生しないし、高温になっても異常な有機化合物が空気中に舞い上がることもありません。安定した、クリーンな熱が得られます。
反射板の重要性
ランプ自体は、熱をあちこちに放出します。天井や機械のフレームにも熱が届きます。これはエネルギーの無駄であり、問題の原因にもなります。
これを解決するために、精密に加工されたアルミニウム製の反射板を使って、熱を必要な場所にだけ送り込みます。
ただし、塗料や粉末コーティングは使えません。高温になるとすぐに煙が出てしまいます。粉塵のない環境では、これは大問題です。代わりに、化学的に安定したアノダイズ処理されたアルミニウムを使用します。これにより、微粒子が一切発生しません。
実際のデメリット
正直に言って、このような設備を導入するには初期投資がかかります。高純度の石英や磨かれたアルミニウムは、鋼鉄や塗装された部品ほど安くはありません。また、メンテナンスも必要です。取り付けブラケットをIPAで丁寧に清掃する必要があります。本当に、反射板に指紋がつくだけでも、熱の集中点ができて、最終的に表面が損傷してしまいます。
最後に、電源の安定性にも注意が必要です。電圧が急変すると、石英が割れてしまいます。クラス100の清浄室では、壊れたランプは単なる故障品ではなく、部屋全体をきれいにする必要があります。金曜日を楽しく過ごすには良くありません。