क्लास 100 स्वच्छ कमरे को वास्तव में स्वच्छ ही रखना
जब आप सेमीकंडक्टर निर्माण सुविधाओं में काम करते हैं, तो “तापमान नियंत्रण” तो केवल आधी ही जिम्मेदारी है। असली समस्या तो संदूषण है। क्लास 100 वाले वातावरण में, थोड़ा सा पॉलिमर या धूल का कण भी वेफरों की गुणवत्ता को बर्बाद कर सकता है।
इसीलिए हम कोई भी हीटर वहाँ इस्तेमाल नहीं करते। हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज आईआर लैंपों एवं टेफलॉन-इन्सुलेटेड वायरों का उपयोग करते हैं। ऐसा करने से ही समस्याओं से बचा जा सकता है।
उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का महत्व
अधिकांश क्वार्ट्ज लैंपों में धातुई अशुद्धियाँ होती हैं। उच्च तापमान पर ये अशुद्धियाँ बाहर निकल सकती हैं… जो सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया के लिए बहुत ही खतरनाक है।
हम ऐसी समस्याओं से बचने हेतु सिंथेटिक, उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं। ऐसे लैंप छोटी तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड विकिरण का उपयोग करते हैं… जिससे ऊर्जा सीधे सब्सट्रेट तक पहुँचती है। इससे वातावरण में गर्मी फैलने की समस्या नहीं होती… जिससे धूल उड़ने की समस्या भी नहीं होती।
वायरों से संबंधित समस्याएँ
वास्तव में, वायर ही सबसे पहले खराब हो जाते हैं।
यदि आप मानक PVC या सिलिकॉन वायरों का उपयोग करते हैं, तो गर्म होने पर वे “धुआँ” उत्पन्न करने लगते हैं… जिससे वोलेटाइल ऑर्गेनिक कंपाउंड्स उत्पन्न होते हैं… जो सिलिकॉन पर जम जाते हैं… जिससे समस्याएँ पैदा होती हैं।
हम ऐसी समस्याओं से बचने हेतु टेफलॉन (PTFE) का उपयोग करते हैं… यह उच्च तापमान पर भी ठोस ही रहता है… एवं कोई गैस भी नहीं उत्पन्न करता। यह रासायनिक रूप से निष्क्रिय है… इसलिए चाहे आप वैक्यूम में हों या उच्च तापमान वाले वातावरण में… आप इसे ऐसे ही इस्तेमाल कर सकते हैं… कोई समस्या नहीं होगी।
कुछ बातें ध्यान में रखने योग्य
ऐसे लैंपों में बहुत अधिक ऊर्जा होती है… इसलिए आपको अपने माउंटिंग ब्रैकेटों पर ध्यान देना होगा। यदि आपकी कूलिंग सिस्टम उच्च तापमान को सहन नहीं कर पाती, तो लैंप का हाउजिंग खराब हो सकता है।
हमने ऐसे लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे आपके मौजूदा हीटरों के स्थान पर आसानी से इस्तेमाल किए जा सकें… ऐसे लैंपों से कोई कण बाहर नहीं निकलते… एवं लक्षित तापमान भी जल्दी ही प्राप्त हो जाता है।
बस ध्यान रखें कि आपकी पावर सप्लाई लैंप की वॉटेज के अनुरूप हो… वरना फिलामेंट जल्दी ही खराब हो जाएगा।