फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 0.5°C का ही अंतर भी वायरलाइन की मोटाई में नैनोमीटर स्तर पर परिवर्तन ला सकता है… जिससे अच्छी गुणवत्ता वाले उत्पाद बर्बाद हो जाते हैं। तापमान स्थिरता कोई वैकल्पिक विशेषता नहीं है… यह तो प्रक्रिया का ही हिस्सा है। हमने ऐसी ही परिस्थितियों को ध्यान में रखकर ही हीटर बनाए हैं… ताकि 150 मिमी एवं 200 मिमी आकार के सब्सट्रेटों पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव हैलोजन एवं NIR एमिटरों को क्वार्ट्ज रिफ्लेक्टरों के साथ उपयोग में लाते हैं… ताकि ऊर्जा सही जगह पर ही जाए… और तापीय असमानता कम रहे। 90°C से 250°C तक के तापमानों पर तापमान की पुनरावृत्ति ±0.5°C के भीतर ही होती है… इससे “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ बिना किसी समस्या के ही संपन्न होती हैं। क्लीनरूम क्लास 1–100 के मानकों का पालन करने हेतु अत्यधिक कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों, सील्ड जंक्शनों, एवं तापीय चक्रों के दौरान कणों के उत्पादन को रोकना आवश्यक है। 5,000+ घंटों तक आउटपुट स्थिर रहता है… एवं तीव्रता में 5% से भी कम परिवर्तन होता है।
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रोसेसिंग में यह क्यों महत्वपूर्ण है? क्योंकि तापीय स्थिरता बहुत ही महत्वपूर्ण है। हमारे हीटर, हर बार ही वायरलाइन की मोटाई में होने वाले परिवर्तनों को कम करते हैं… जिससे दोबारा काम करने की आवश्यकता कम हो जाती है। तेज़ तापमान वृद्धि से प्रक्रिया का समय कम हो जाता है… एवं सटीकता के कारण ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है। विश्वसनीयता के कारण अप्रत्याशित हस्तक्षेप कम हो जाते हैं… एवं वेफर पर कणों की संख्या भी स्थिर रहती है।
कुछ व्यावहारिक बातें:
इन हीटरों के लिए समान पावर सप्लाई एवं कैलिब्रेटेड पायरोमीटर आवश्यक हैं… ताकि प्रक्रिया सही तरीके से चल सके। पुरानी प्रणालियों में इन हीटरों का उपयोग करने हेतु थोड़े मैकेनिकल समायोजन एवं अपडेटेड सेटपॉइंट आवश्यक हैं। क्लीनरूम-अनुकूल स्थापना व्यवस्था आवश्यक है… एवं तापीय बजट में एमिटरों के उम्र बढ़ने की प्रक्रिया को भी ध्यान में रखना आवश्यक है… हम ऐसे डेटा भी प्रदान करते हैं… ताकि आप प्रक्रिया पर नियंत्रण बनाए रख सकें।