MEMS वेफरों को बिना किसी परेशानी के सूखाना
MEMS सेंसर वेफरों को सूखाना काफी कठिन कार्य है। वेफरों में मौजूद पानी को जल्दी से निकालना आवश्यक है, लेकिन अगर इसके लिए अत्यधिक ऊष्मा का उपयोग किया जाए, तो उन नाजुक सूक्ष्म संरचनाओं को नुकसान पहुँच सकता है। अधिकांश लोग पूरे कमरे में ही ऊष्मा फैलाकर वेफरों को सूखाने की कोशिश करते हैं… लेकिन यह तरीका अक्षम है। ऐसे में वास्तव में तो केवल हवा एवं दीवारें ही गर्म हो जाती हैं… जबकि वेफर सूखता ही नहीं। हम इसके लिए दिशात्मक इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं… ऐसे में ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पड़ती है… जबकि उपकरण की दीवारें ठंडी ही रहती हैं। यह तो बहुत ही बेहतर तरीका है। दिशात्मक ऊष्मा का उपयोग क्यों करना आवश्यक है? सामान्य हीटरों के बारे में सोचें… वे ऊर्जा को हर दिशा में ही फैलाते हैं… यानी 360 डिग्री में ऊर्जा बर्बाद हो जाती है। ऐसे में अर्धचालक उपकरणों में आंतरिक दीवारें भी बहुत गर्म हो जाती हैं… यह तो ऊर्जा की बर्बादी है… एवं ऐसी स्थिति में मशीन चलाने वाले व्यक्ति के लिए यह एक सुरक्षा जोखिम भी है। हम दर्पणीय पृष्ठभूमि वाले शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं… ऐसे में ऊर्जा सीधे वेफर पर ही पड़ती है… जबकि उपकरण की दीवारें ठंडी ही रहती हैं। यह तो बहुत ही बेहतर तरीका है। चुनौतीयाँ तेजी से वेफरों को सूखाने हेतु हम उच्च-वॉटेज वाले हैलोजन क्वार्ट्ज ट्यूबों का उपयोग करते हैं… लेकिन इसके लिए बिजली की आपूर्ति भी उचित होनी आवश्यक है… अगर वॉटेज को अधिक कर दिया जाए, तो वेफरों को नुकसान पहुँच सकता है। वास्तविक रहस्य तो दूरी ही है… अगर लैंप बहुत नजदीक हो, तो वेफरों पर “हॉट स्पॉट” बन जाते हैं… जिससे वेफरों को नुकसान पहुँच सकता है… इसलिए उचित दूरी ढूँढना आवश्यक है। वास्तविक दुनिया में इसका उपयोग चूँकि ऊष्मा बहुत ही केंद्रित होती है, इसलिए उपकरण के बाहर किसी भारी इन्सुलेशन परत की आवश्यकता ही नहीं है… ऐसे में पूरा उपकरण छोटा ही रहता है… एवं इसका प्रबंधन भी आसान हो जाता है। इसके अलावा, PID कंट्रोलर का उपयोग करके लक्षित तापमान हासिल किया जा सकता है। एक छोटी सी सलाह: शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड, लॉन्ग-वेव इन्फ्रारेड की तरह व्यवहार नहीं करता… इसलिए अपने वेफरों के ऊष्मा अवशोषण की क्षमता की जाँच अवश्य करें… ताकि वेफरों को सही समय पर ही सूखाया जा सके।