ऊष्मा की बर्बादी रोकें: सोने से ढके गैर-परावर्तकों का वास्तविक लाभ
यदि आप सिलिकॉन वेफरों को गर्म कर रहे हैं, लेकिन ऊर्जा हर जगह बर्बाद हो रही है, तो यह डिज़ाइन संबंधी समस्या है। अधिकांश लोग मानक एल्यूमीनियम गैर-परावर्तकों का ही उपयोग करते हैं; लेकिन एल्यूमीनियम बहुत अधिक ऊर्जा अवशोषित कर लेता है। इसके कारण वेफर के बजाय लैंप का ही हिस्सा गर्म हो जाता है… यह तो बर्बादी ही है। इसीलिए हम सोने का ही उपयोग करते हैं। सोने का वास्तविक लाभ यह सिर्फ सोने की चमक के कारण ही नहीं है… सोना एल्यूमीनियम या पॉलिश्ड स्टील की तुलना में अवरक्त विकिरण को परावर्तित करने में बहुत ही प्रभावी है। जब हम गैर-परावर्तक पर सोने की पतली परत लगाते हैं, तो ऊर्जा बेकार नहीं जाती… बल्कि वह वेफर पर ही केंद्रित हो जाती है। ऐसे में आपको अधिक वॉटेज की आवश्यकता ही नहीं पड़ती। ऊर्जा-खपत पर नियंत्रण ऐसे लैंपों का उपयोग करते समय ऊर्जा-खपत पर नियंत्रण आवश्यक है… क्योंकि इन लैंपों से बहुत अधिक ऊर्जा उत्पन्न होती है। आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपकी शीतलन प्रणाली उस अतिरिक्त ऊष्मा को संभाल सके… वरना लैंप खराब हो सकता है, या विद्युत कनेक्टर भी खराब हो सकते हैं। हवा को स्वच्छ रखना क्लीनरूम में ओज़ोन एक बड़ी समस्या है… यह ऐसा प्रदूषक है जिसे बिल्कुल भी बर्दाश्त नहीं किया जा सकता। हमने क्वार्ट्ज एवं फिलामेंट की रासायनिक संरचना को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि ओज़ोन ही न बने… इससे आपकी प्रक्रिया में उपयोग होने वाली गैसें शुद्ध रहती हैं… और वेफर की सतह पर कोई ऑक्सीकरण नहीं होता। कुछ नुकसान… सोना तो सर्वोत्तम ऊर्जा-प्रदान करने वाला है… लेकिन यह नरम होता है। कृपया, अपने उपकरणों की रक्षा हेतु, इन्हें कभी भी घिसने वाले पैडों से साफ न करें… ऐसा करने से वेफर की सतह खराब हो जाएगी, और उपकरणों की दक्षता भी कम हो जाएगी। इन्हें साफ करने हेतु गैर-संपर्कीय विधियों का ही उपयोग करें। एलाइनमेंट का महत्व एलाइनमेंट बहुत ही महत्वपूर्ण है… यदि लैंप थोड़ा भी झुक जाए, तो ऊष्मा का केंद्र भी बदल जाता है… ऐसे में वेफर पर असमान ऊष्मा वितरण हो जाता है… और सब कुछ फिर से शुरू हो जाता है।