लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” कोई साधारण वॉर्म-अप प्रक्रिया नहीं है। इसके द्वारा विलायकों की मात्रा नियंत्रित की जाती है, सीडी की गुणवत्ता निर्धारित की जाती है, एवं लाइनों की सतह की खुरदराहट भी नियंत्रित की जाती है… ऐसी ही सतहों पर ही पूरे दिन काम किया जाता है। यदि हॉटप्लेट का तापमान ±2°C तक बढ़ जाए, तो उत्पादन प्रक्रिया में बाधाएँ आ जाती हैं… अस्वीकृत उत्पादों की संख्या भी बढ़ जाती है। इस समस्या को दूर करने हेतु हमने वेफरों के प्रसंस्करण हेतु मध्यम-तरंग वाले इन्फ्रारेड हीटर विकसित किए।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
मध्यम-तरंग वाले इन्फ्रारेड हीटर, फोटोरेसिस्ट की सतह के अलावा, उसके भीतरी हिस्सों को भी गर्म करते हैं… इससे तापमान में तेजी से वृद्धि होती है, एवं कोई देरी भी नहीं होती। हम वेफर के सक्रिय क्षेत्र में तापमान को ±0.1°C के भीतर बनाए रखते हैं… एवं प्रत्येक बार उत्पादन में तापमान को ±0.05°C के भीतर ही रखा जाता है। एमिटर ऐरे, सील्ड क्वार्ट्ज कवर के पीछे ही स्थित है… इससे कोई गैस बाहर नहीं निकलती, एवं कोई कण भी नहीं निकलता। हीटर का डिज़ाइन, क्लास 1–100 के क्लीनरूम मानकों के अनुरूप है… एवं प्रत्येक सतह को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है कि कणों की संख्या स्थिर रहे… 24/7 चलने वाली मशीनों में भी। तापमान नियंत्रण, हीटर ब्लॉक पर नहीं, बल्कि वेफर की सतह पर ही होता है।
व्यावहारिक दृष्टि से इसका लाभ:
फोटोरेसिस्ट को तेज़ी से एवं समान रूप से गर्म करना आवश्यक है… ताकि चक्कर घूमते समय भी तापमान स्थिर रहे। हमारा मध्यम-तरंग वाला हीटर, कुछ ही सेकंड में ही वांछित तापमान तक पहुँच जाता है… इससे हर वेफर को समान तापमान ही मिलता है। इसका परिणाम है – बेहतर सीडी गुणवत्ता, कम रीवर्क, एवं ऊँचा उत्पादन दर… तापमान संबंधी समस्याओं के बिना। इससे ऊर्जा की भी बचत होती है… क्योंकि एमिटर, गर्मी को ठीक वहीं ही भेजते हैं, जहाँ उसकी आवश्यकता है… एवं कम तापीय द्रव्यमान के कारण ऊर्जा की बर्बादी भी नहीं होती।
कुछ व्यावहारिक सुझाव:
मध्यम-तरंग वाले हीटर, सिलिकॉन पर मौजूद कार्बनिक फिल्मों के लिए ही उपयुक्त हैं… लेकिन धातु या मोटी डायइलेक्ट्रिक परतों पर इनका उपयोग करने पर समस्याएँ हो सकती हैं। इसलिए, रेसिपी निर्धारित करने हेतु एवं तापीय प्रणाली की जाँच हेतु एक छोटा परीक्षण आवश्यक है। इस प्रणाली को स्थापित करने हेतु स्वच्छ बिजली आपूर्ति एवं वेफर चक्कर के साथ मजबूत यांत्रिक संपर्क आवश्यक है… सब-मिलीमीटर स्तर की त्रुटियों से भी तापमान संतुलन बिगड़ सकता है। एक बार यह प्रणाली सही तरीके से स्थापित हो जाए, तो इसकी देखभाल बहुत ही कम हो जाती है… जब इसकी मरम्मत आवश्यक हो, तब ही उसे मरम्मत किया जाता है… रात में इसकी मरम्मत करने की कोई आवश्यकता नहीं है।