Sécher les wafer de capteurs MEMS sans problèmes Sécher les wafer de capteurs MEMS est une tâche délicate. Il est nécessaire que l’eau disparaisse rapidement, mais si on est trop agressif dans le processus, on risque de détériorer ces micro-structures extrêmement fragiles. La plupart des gens utilisent simplement de la chaleur convective pour sécher les wafer. C’est inefficace : en fait, on chauffe simplement l’air et les parois de la chambre, sans pour autant sécher correctement le wafer. Nous utilisons plutôt des lampes à infrarouges dirigées. Au lieu de chauffer tout ce qui se trouve dans la chambre, nous dirigeons l’énergie directement vers le wafer. Pourquoi utiliser de la chaleur dirigée ? Pensez à un chauffage classique : il émet de la chaleur dans toutes les directions, ce qui représente une perte d’énergie inutile. Dans un équipement de semi-conducteurs, cela signifie que les parois intérieures deviennent extrêmement chaudes. C’est un gaspillage d’énergie, et c’est aussi un risque pour la sécurité de celui qui opère l’équipement. Nous utilisons donc des lampes à infrarouges à ondes courtes, dotées de revêtements réfléchissants. C’est comme utiliser une lampe de poche plutôt qu’une ampoule ordinaire : toute l’énergie est concentrée sur le wafer, tandis que les parois de l’équipement restent froides au toucher. C’est une manière bien plus efficace de travailler. Le problème difficile Pour obtenir un séchage rapide, nous utilisons généralement des tubes halogènes à haute puissance. Ils permettent d’augmenter rapidement la température. Mais il y a un problème : l’alimentation électrique doit être capable de gérer cette forte vague de courant. On ne peut pas simplement augmenter la puissance au maximum pour gagner quelques secondes – cela provoquerait des chocs thermiques. Le vrai secret réside dans la distance entre la lampe et le wafer. Si la lampe est trop proche, des points chauds peuvent apparaître, ce qui peut endommager les membranes des capteurs. Il s’agit donc de trouver le bon équilibre. Faire fonctionner cet équipement dans la réalité Comme la chaleur est très concentrée, il n’est pas nécessaire d’utiliser des couches d’isolation volumineuses autour de l’équipement. Cela rend l’ensemble plus compact et plus facile à gérer. De plus, on peut associer cet équipement à un contrôleur PID afin d’éviter de dépasser la température désirée. Un petit conseil : les rayons infrarouges à ondes courtes ne se comportent pas comme ceux à ondes longues. Ils pénètrent dans les matériaux de manière différente. Il faut donc vérifier comment votre wafer absorbe la chaleur, afin de pouvoir ajuster correctement le temps de séchage.