Arrêtez de gaspiller de l’énergie inutilement : une meilleure manière de sécher les wafer Les usines de semi-conducteurs doivent absolument devenir neutres en termes de emissions de carbone. Mais si l’on regarde la phase de séchage, on constate que celle-ci est souvent très inefficace du point de vue énergétique. Trop d’usines utilisent encore des fours à convection traditionnels. C’est comme essayer de chauffer toute une pièce juste pour réchauffer une seule tasse de café : on gaspille énormément d’énergie à chauffer les parois du four, alors que ce qui compte vraiment, c’est le wafer lui-même. Comment fonctionne le rayonnement infrarouge Nous avons choisi des lampes à rayonnement infrarouge à ondes courtes, car elles ne perturbent pas l’air ambiant. Au lieu d’attendre que l’atmosphère se réchauffe, les photons atteignent directement la surface du wafer et se transforment immédiatement en chaleur. C’est rapide… vraiment rapide. On atteint la température souhaitée en quelques secondes, et non en minutes. Les chiffres (et pourquoi ils sont importants) Lorsque nous effectuons une inspection dans une usine, nous nous concentrons sur un seul indicateur : les kilowattheures consommés par wafer. En utilisant des systèmes à rayonnement infrarouge ciblé, on élimine cette “masse thermique” excessive. On n’a plus affaire à des parois en acier lourdes. De plus, nous utilisons la modulation de largeur d’impulsion pour contrôler l’énergie utilisée. C’est comme disposer d’un variateur de luminosité plutôt qu’un interrupteur simple. On évite ainsi de dépasser la température souhaitée, ce qui signifie moins de risques de déformation des wafer. Et le meilleur ? La consommation d’énergie diminue généralement de 20 % à 30 %. Le problème : on ne peut pas simplement “brancher et utiliser” Voilà le problème : les systèmes à rayonnement infrarouge sont très puissants, mais ils nécessitent un espace étroit pour fonctionner correctement. On ne peut pas simplement les installer dans un vieux système existant. Si les systèmes de refroidissement ne sont pas adaptés, la chaleur rayonnée par les supports des wafer endommagera l’équipement. Soit les lampes se brûlent, soit, pire encore, le substrat est endommagé. Passer au rayonnement infrarouge, c’est bien plus que simplement remplacer une ampoule. Cela consiste à revoir l’équilibre énergétique global de l’usine, afin d’éliminer cette “chaleur inutile” qui consomme tant d’énergie depuis des années.