
Parlons des pannes des lampes dans les systèmes de séchage MEMS
Si vous gérez une ligne de production MEMS à fort débit, vous connaissez bien ce scénario catastrophique : une lampe infrarouge tombe en panne. Ce n’est pas seulement le temps d’arrêt qui est problématique – même s’il est déjà gênant – mais aussi le désordre causé par les éclats de verre et les dépôts de tungstène qui tombent sur vos wafer. Une seule panne suffit pour que toute la production soit compromise.
Nous avons passé beaucoup de temps à trouver des solutions pour éviter cela.
Pourquoi ces lampes tombent-elles en panne ?
En général, c’est à cause d’un choc thermique ou d’un point chaud excessif. Lorsque vous travaillez à forte charge, la différence de température entre le filament et les extrémités du tube crée une grande quantité de contraintes mécaniques.
Pour résoudre ce problème, nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté. Il permet de supporter de plus grandes variations de température. Nous avons également ajusté l’épaisseur des parois du tube ainsi que la pression du gaz, afin que le point de rupture soit bien au-delà de ce que l’on rencontre normalement pendant une période de fonctionnement normale.
Une solution de sécurité intégrée
Nous ne laissons rien au hasard. Nos lampes sont équipées de protections supplémentaires qui agissent comme un système de sécurité. Si un tube tombe en panne, le boîtier est conçu pour retenir les débris, afin qu’ils ne touchent pas vos produits. De plus, nous utilisons des connecteurs résistants aux vibrations. Les arcs électriques aux terminaux peuvent provoquer des explosions dans des environnements instables ; donc, nous veillons à ce que les connexions soient solides.
Les compromis à connaître
Ces lampes à haute puissance sont excellentes pour accélérer le processus de séchage des MEMS, mais elles génèrent aussi une chaleur importante. Vous ne pouvez pas simplement les placer dans n’importe quel support. Le système de refroidissement doit être adapté pour évacuer cette chaleur. Si le système de refroidissement n’est pas suffisant, les joints commenceront à se détériorer. Et une fois que les joints sont endommagés, le risque de fuite – et donc de panne – augmente considérablement.
Nous concevons ces lampes pour des usines qui fonctionnent 24 heures sur 24. Nous nous concentrons sur les limites du quartz et sur la stabilité du circuit, afin que vous puissiez vous concentrer sur votre production sans vous soucier des problèmes liés aux lampes.