روی سطح سنگی، حتی کمترین تغییر در دما میتواند منجر به اختلال در ابعاد محصول شده و باعث از بین رفتن کل محموله ویفرها شود. شما نیازی به گرمایی ندارید که فقط احساس گرما را القا کند؛ بلکه به گرمایی نیاز دارید که دمای مورد نظر را در تمام مراحل تولید حفظ کند.
آنچه ما ساختیم، و چرا این موضوع مهم است
ما این خشککن مادونقرمز را با استفاده از فرستندههای موج متوسط NIR و سیستم گرمایی مبتنی بر کوارتز طراحی کردیم؛ تا بتوانیم یکنواختی دما را در سراسر ویفرها حفظ کنیم. کنترل حلقه بسته، باعث میشود دما به طور پیوسته یکنواخت باقی بماند؛ بنابراین گرمایش ملایم و شدید نیز در محدوده مجاز قرار میگیرد.
این دستگاه با محیطهای تمیزسازی شده، در کلاسهای ۱ تا ۱۰۰، سازگار است؛ همچنین از موادی با انتشار گاز کم استفاده میکند و مسیر جریان هوا به گونهای طراحی شده که ایجاد ذرات در هوا صفر باشد. در واقع، این دستگاه هیچ نقصی ایجاد نمیکند؛ بلکه گرمایش یکنواختی را فراهم میکند.
چرا این دستگاه برای تولید IC مناسب است
در فرآیند تولید IC، این دستگاه در جایی قرار دارد که سرعت و دقت با یکدیگر تلاقی دارند. این دستگاه به سرعت به دمای مورد نظر میرسد، گرمایش ملایم و شدید را با حاشیه خطای کم انجام میدهد و یکنواختی دما را در تمام مراحل تولید حفظ میکند. نتیجه آن، کنترل یکنواخت ابعاد محصول، کاهش تعداد تولیدات مردود، و استقرار بازدهی تولید است.
از آنجایی که این دستگاه به سرعت واکنش نشان میدهد و فقط بخشهایی را که نیاز به گرمایش دارند، گرم میکند، مصرف انرژی کاهش مییابد. همچنین، اندازه این دستگاه آنقدر کوچک است که میتوان آن را در فضاهای کوچک قرار داد، بدون اینکه فضای کافی برای آن باقی بماند.
چه چیزهایی برای عملکرد صحیح این دستگاه لازم است
این دستگاه را میتوان به راحتی ادغام کرد؛ اما برای عملکرد صحیح، به یک مدار برقی جداگانه و هوای فشرده تمیز و خشک نیاز است تا مسیرهای تخلیه گاز سالم باقی بمانند. همچنین، برای تنظیم دستگاه، نیاز به یک آزمایش کوتاه وجود دارد.
پس از تنظیم، این دستگاه میتواند ۲۴/۷ کار کند و همواره یکپارچگی دمایی مشخصی را حفظ کند.