So bekommen Sie das Beste aus Ihren Transportwagenheizungen heraus
Wenn Sie schon einmal in einem Halbleiterreinraum gearbeitet haben, wissen Sie, wie schwierig die Situation sein kann. Man muss die Wafern auf den Transportwagenheizungen erwärmen – doch es ist nicht einfach, die Energie genau dorthin zu leiten, wo sie benötigt wird.
Meistens strahlt die Wärme einfach in alle Richtungen ab. Statt die Wafer zu erwärmen, heizt die Energie stattdessen den Gehäusekörper oder die Luft darum herum auf. Das ist eine Energieverschwendung und birgt außerdem Probleme für Ihre Anlage.
Das Geheimnis liegt im Gold.
Wir verwenden reflektierende Oberflächen, die mit Gold überzogen sind. Gold ist nämlich hervorragend geeignet, Infrarotstrahlung zurückzuspiegeln – fast 98 Prozent der Wärme werden so wieder zurückgeworfen. Anstatt dass die Energie überallhin strahlt, wird sie in einem konzentrierten Lichtstrahl geführt.
Der Vorteil: Man erhält mehr Wärme auf den Wafern, ohne die Leistung erhöhen zu müssen. Dadurch wird die Arbeit mit den Transportwagenheizungen viel einfacher. Wenn man nicht mit verschwendeter Energie kämpfen muss, kann man bei niedrigerer Leistung die gewünschten Temperaturen erreichen.
Außerdem bleibt der Rest des Gehäuses kühl. Wenn man einfach nur hohe Leistungen einsetzt, ohne einen guten Reflektor zu verwenden, besteht die Gefahr, dass die umliegenden Komponenten beschädigt werden. Wir haben viel Zeit damit verbracht, die Geometrie der Reflektoren anzupassen – wir möchten schließlich eine gleichmäßige Wärmeverteilung, ohne ungleichmäßige Hitzepunkte, die dazu führen könnten, dass die Wafer ungleichmäßig erhitzen.
Die Installation dieser Reflektoren ist ziemlich einfach. Sie sind so konzipiert, dass sie direkt in Ihre bestehenden Transportwagenheizsysteme eingefügt werden können. Wir sorgen dafür, dass der Fokuspunkt genau dort liegt, wo die Wafer sich befinden.
Eine wichtige Warnung:
Gold ist empfindlich. Wenn Öle oder Chemikalien auf die reflektierende Oberfläche gelangen, beginnt sich die Wärmeverteilung zu verändern. Zuerst ist dieser Effekt kaum wahrnehmbar – doch später wird man feststellen, dass die Temperatur auf den Wafern nicht mehr gleichmäßig ist.
Es ist verlockend, einfach die Leistung zu erhöhen, um dies auszugleichen. Doch das sollte man nicht tun – dadurch können die Heizelemente beschädigt werden. Halten Sie die Reflektoren einfach sauber, dann wird das System seine Aufgabe gut erfüllen.