Den Albtraum stoppen: Ihre Wafer sauber halten, wenn die Heizgeräte versagen
Wer bereits in der Produktion von Wafern in hoher Geschwindigkeit gearbeitet hat, kennt dieses Problem nur zu gut. Plötzlich geht eine Lampe kaputt – einfach so.
Es geht nicht nur um die Stillstandzeiten. Es sind auch die Glassplitter und Metallstücke, die auf die Wafer fallen können. Ein Riss in einem Quarzrohr kann dazu führen, dass eine kostspielige Charge an Wafern innerhalb von Sekunden zu Schrott wird. Das ist ein Desaster.
Genau deshalb konstruieren wir unsere Infrarotheizer auf diese Weise.
Der „Sicherheitsnetz“-Ansatz
Wir verlassen uns nicht nur auf ein einzelnes Quarzstück, um die benötigte Wärme zu erzeugen. Wir verwenden außerdem einen zusätzlichen Schutzring. Stellen Sie sich das wie eine Art Ersatzvorrichtung vor. Falls das innere Heizelement unter dem Druck der Hitzekaputtgeht, fängt der Schutzring all den Schutt auf. So landet nichts auf Ihren Wafern. Zudem verwenden wir für die Innenelemente hochreinen Quarz – dadurch müssen Sie sich keine Sorgen darüber machen, dass fremde Gase entweichen und die Bedingungen im Reinraum beeinträchtigen.
Mit der Hitze umgehen
Hohe Leistung bedeutet intensive Hitze. Wenn die Kühlung nicht richtig funktioniert, überhitzen die Enden der Lampe – und die Dichtungen versagen. Um das zu verhindern, verwenden wir verstärkte Endkappen sowie Verbindungen, die der Ausdehnung und Zusammenziehung standhalten können. Ehrlich gesagt: Der zusätzliche Schutzring mindert zwar etwas die Transmissionsrate der Infrarotwellen im Vergleich zu einer herkömmlichen Lampe. Doch im Vergleich zum Verlust der gesamten Wafercharge ist das ein akzeptabler Kompromiss.
Einfache Austauschmöglichkeiten und Wartung
Niemand möchte Stunden damit verbringen, während der Arbeitszeit ein Heizelement zu reparieren. Wir haben diese Geräte so konzipiert, dass sie einfach ausgetauscht werden können. Man tauscht einfach die Lampe aus, verbindet sie wieder mit dem Stromnetz – und schon kann man weiterarbeiten.
Ein Tipp aus der Praxis: Überprüfen Sie alle 500 Stunden die Kontaktkräfte. Es mag zwar unwichtig erscheinen, aber loose Kontakte führen zu Hotspots. Diese Hotspots zerstören den Quarz. Halten Sie die Kontakte fest – dann halten die Lampen viel länger ohne Defekte.