Sicherstellung der Sauberkeit: Beheizung in einem Class-100-Umfeld
Wenn man in einem Class-100-Reinraum arbeitet, geht es bei der Beheizung nicht wirklich um die Temperatur selbst. Vielmehr ist entscheidend, was der Heizer in die Luft abgibt.
Die meisten herkömmlichen Infrarotlampen haben eine „Einschalzphase“, in der sie flüchtige organische Verbindungen sowie mikroskopisch kleine Stoffe ausstoßen. Wenn man in einem Ultra-Hochreinraum arbeitet, ist das ein Albtraum. Wir lösen dieses Problem bereits auf Materialebene, bevor die Lampe überhaupt in den Reinraum gelangt.
Das Geheimnis liegt im Glas.
Wir haben das übliche Borosilikatglas durch synthetisches Fusionsquarzglas ersetzt. Dabei handelt es sich um hochreines Quarz, das auch bei starken Temperaturschwankungen nicht beschädigt wird. Es splittert nicht, es zerfällt nicht und es verfälscht sich auch nicht.
Aber das ist noch nicht alles. Jede Oberfläche wird mehrfach chemisch gereinigt, damit alle organischen Rückstände entfernt werden. Dadurch entfällt die lästige „Einschalzphase“. Keine Partikel landen mehr auf den Wafern – keine beschädigten optischen Komponenten. Es entsteht einfach saubere Wärme.
Die technischen Details
Um viel Wärme in einem kleinen Raum zu erzeugen, verwenden wir präzise gefertigte Filamente. Auf die Anschlüsse legen wir besonders großen Wert – meistens handelt es sich dabei um R7- oder SK15-Anschlüsse.
Warum? Weil eine lockerer Anschluss ein Desaster bedeuten kann. Er führt zu lokalen Entladungen und Temperaturspitzen, die das Quarzmaterial schädigen können. Wir halten die Toleranzen eng, damit Sie sich darüber keine Sorgen machen müssen.
Eines sollte man beachten…
Diese Hochleistungslampen strahlen enorme Mengen an Strahlungsenergie ab. Das ist zwar gut für den Produktionsprozess, doch für das Lüftungssystem ist das eine große Belastung.
Wenn Sie diese Lampen in einen engen Raum einbauen, stellen Sie sicher, dass Ihre Kühllüfter leistungsstark genug sind. Wenn sich die Luft nicht bewegt, kehrt die Wärme wieder ins HVAC-System zurück – und somit werden die eingestellten Temperaturen völlig verfälscht.
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie einfach als Ersatz für Halbleiter- und Luft- und Raumfahrtanwendungen verwendet werden können. Man schließt sie einfach an, stellt den PID-Regler ein – und kann ohne Sorgen weiterarbeiten.