V prostorách určených k výrobě polovodičů není wafer po vyjmutí z čisticího procesu jen „vlhký“. Jedná se o problém, který může později vést ke vzniku mikromostů a k narušení struktury povrchu waferu – právě v okamžiku, kdy se snažíme udržet požadovanou geometrii povrchu waferu.
Konvenční metody sušení mohou způsobit tepelné gradienty na povrchu waferu. Tyto gradienty nezůstávají pouze teoretickými problémy – přeměňují se na variace v tloušťce vrstvy na povrchu waferu. My jsme proto vyvinuli infračervené ohřívače určené k sušení waferů, aby tyto variace byly eliminovány.
Co je opravdu důležité z technického hlediska: Naše emitory krátkovlnného infračerveného záření zajišťují homogenitu na celé ploše waferu v řádu submilimetrů. Udržujeme tak stabilitu teploty během procesů zpracování fotoresistu v rozmezí ±0,1 °C.
Zdroj energie typu kvartz-halogen umožňuje rychlé přenos energie, takže reakce na změny teploty probíhá během několika milisekund – ne minut. Opakovatelnost procesů není náhodná – je součástí samotného systému řízení.
V každé zóně existuje systém uzavřeného měření teploty, automatické nastavování parametrů PID a kalibrační křivky spojitelné s standardy NIST. Výsledkem je proces, kterému můžete věřit, lot za lotem.
Proč to odpovídá způsobu, jakým skutečně pracujeme: V zařízeních na výrobu polovodičů se ohřívače mohou používat v prostředích třídy 1–100. Tento design nevytváří žádné částice, což snižuje počet vad a zvyšuje výtěžnost výroby.
Spotřeba energie klesá, protože se ohřívá pouze cílová oblast, nikoliv celá místnost. Rychlé dosažení požadované teploty zkracuje dobu cyklu, aniž by to ovlivnilo celkový energetický rozpočet.
Profily povrchu waferu zůstávají konzistentní – ať už se jedná o první nebo tisící wafer – takže nemusíte trávit čas opravami a odpadky.
Praktické detaily, se kterými se budete muset vyrovnat: Je potřeba přesné zarovnání ohřívače vzhledem k povrchu waferu. Také musí být profil napětí co nejčistší. Poklesy napětí a interference elektromagnetického pole mohou zhoršit fungování systému řízení. Doporučujeme použít speciální filtry, aby výkon zůstal na požadované úrovni.
Jakmile je ohřívač správně zarovnán, může fungovat 24/7 s minimální údržbou. Avšak životnost emitérů je omezená – plánujte jejich výměnu po 5 000 hodinách provozu, aby homogenita zůstala v požadovaném rozmezí.