V prostoru určeném k litografii není tento proces jen obyčejným zahříváním. Umožňuje totiž ustálení složení rozpouštědel, určuje parametry povrchu CD a stanovuje hodnotu hrubosti hranic čar, se kterou budete muset po zbytek dne pracovat. Pokud se teplota na horké desce odchýlí o ±2 °C, okno pro správnou hladinu teploty se rychle zmenší – výsledkem je hromada odmítnutých výrobků. Vytvořili jsme infračervený ohřívač střední vlnové délky určený k zpracování polovodičových destiček, aby se tato variabilita eliminovala.
Co je z technického hlediska důležité Infračervený ohřívač střední vlnové délky zahřívá celý objem fotoresistu, nejen jeho povrch. Díky tomu dochází k rychlejšímu zahřátí s menším zpožděním. Dokážeme udržet rovnoměrnost teploty na úrovni ±0,1 °C po celé aktivní oblasti destičky, a opakovatelnost teploty pak na úrovni ±0,05 °C mezi jednotlivými cykly. Emitory jsou umístěny za uzavřenou křemíkovou obálkou – nejsou tam žádné otevřené cívky, které by mohly uvolňovat plyny nebo částice. Samotný ohřívač je vhodný pro použití v prostorách s čistotou třídy 1–100, a všechny povrchy jsou pasivované, takže počet částic zůstává konstantní, i při nepřetržité práci 24/7. Kontrola teploty probíhá přímo na povrchu destičky, nikoliv v samotném ohřívači.
Proč to v praxi funguje Při zahřívání fotoresistu je potřeba, aby se rozpouštědla rychle a rovnoměrně odstranila, poté je potřeba stabilní teplota během pohybu destičky. Náš systém střední vlnové délky dosáhne požadované teploty během několika sekund a udrží ji, takže každá destička má stejnou teplotní historii. Výsledkem je lepší kontrola parametrů CD, méně oprav a vyšší produktivita bez nutnosti neustálé kontroly teploty. Také se šetří energie, protože emitory zaměřují teplo tam, kde je potřeba, a nízká tepelná hmotnost snižuje ztráty při spuštění.
Několik praktických poznámek Střední vlnová délka je vhodná pro organické filmy na křemíku, ale je citlivá na rozdíly v emisivitě u kovů nebo tlustých dielektrických vrstev. Je potřeba provést krátký testovací cyklus, abyste nastavili správné parametry a ověřili teplotní profil. Instalace vyžaduje čistý zdroj napájení a pevné mechanické spojení s držákem destičky – i malá nepřesnost v milimetrech může narušit rovnoměrnost teploty. Jakmile je systém správně nastaven, funguje s minimální údržbou. Když je potřeba vyměnit komponenty, lze to naplánovat. Nemusíte být vyzýváni uprostřed noci.