Na výrobní lince není mezera mezi waferem a topným tělesem jen poznámkou pod čarou – je to technologický parametr, který nelze opomenout. Pokud se...

Na výrobní hale nelze chybu v době pečení nebo odchylku v čase sušení považovat za problém s papírováním. Říká se tomu odpad. Časy měkkého a tvrdého...

Na lince wafer narazí na pečicí stanici s velmi úzkým tepelným rozpočtem. Soft bake nastavuje profil fotorezistu. Hard bake zajišťuje věrnost vzoru....