Neden temiz odalarda kızılötesi ısıtma sistemlerini kullanmaya başladık?
Yarı iletken üretim tesislerinde çalışırken “temizlik” sadece bir hedef değil, her şeydir. En ufak bir kir bile tüm ürün partisini bozabilir. Uzun süre boyunca en yaygın yöntem konveksiyon fırınlarıydı. Ancak dürüst olmak gerekirse, her yere sıcak hava üflemek riskli bir yöntemdir. Aslında bu yöntemde parçacıklar odanın içinde dolaştırılıyor ve sadece havayı ve duvarları ısıtmak için çok fazla enerji harcanıyor.
İşte bu yüzden kızılötesi ısıtıcıları tercih ettik. Odayı ısıtmak yerine, doğrudan yüzeyi ısıtıyoruz.
Doğrudan ısının mucizesi
Bunu, soğuk bir günde güneşin altında durmak gibi düşünün. Sıcak hissetmek için havanın 80 derece olmasına gerek yok; radyasyon doğrudan size ulaşıyor. Kızılötesi ısıtıcılar da wafler için aynısını yapıyor.
Hava dolaşımı olmadığı için, temiz odadaki en büyük kirlilik kaynağı ortadan kalkıyor. Ayrıca bu yöntem çok daha verimli. Devasa metal kutuları ısıtmak için para harcamıyorsunuz; enerjiyi tam da ihtiyaç duyulan yere yönlendiriyorsunuz. Bu sayede ağır kimyasallara bağlı kalmadan, katı kurallara uygun, daha temiz bir üretim süreci elde ediliyor.
Zorlayıcı yanları
Ancak her şey bu kadar basit değil. Genellikle kısa dalga veya orta dalga lambalarını kullanıyoruz çünkü bunlar neredeyse anında ısınabiliyor. Bu da üretim sürecinde büyük zaman tasarrufu sağlıyor.
Ancak bir dezavantajı var: Isı çok yoğun olduğundan, lamba ile wafer arasındaki mesafe konusunda çok dikkatli olmak gerekiyor. Birkaç milimetre fazla yakın olursa, sıcak noktalar oluşabilir veya daha kötüsü, wafer bozulabilir. Sıcaklığın kontrol altında tutulabilmesi için PID devreleri içeren bir kontrol sistemi gerekiyor.
Daha küçük ve daha çevre dostu
En iyi yanı ise cihazların boyutlarının daha küçük olmasıdır. Devasa fanlara ve ağır yalıtım malzemelerine ihtiyaç kalmıyor; böylece kurutma istasyonu çok daha az alan kaplıyor. Kızılötesi ısıtıcılar, eski gazlı veya dirençli ısıtıcılara kıyasla elektriği çok daha etkili bir şekilde ısıya dönüştürüyor.
Sonuç olarak, her wafer için daha az enerji kullanılıyor ve üretim süreci daha temiz kalıyor. Bu da modern üretim tesisleri için mantıklı bir çözüm.