Vakumlu Kızılötesi Isıtma Yöntemiyle Yarı İşlenmiş Ürünlerin Daha Çevre Dostu Hale Getirilmesi
Eğer yarı iletken üretim tesislerinde karbon nötralitesine ulaşmak istiyorsak, ısı konusunu mutlaka ele almalıyız. Geleneksel dirençli ısıtma yöntemleri oldukça verimsizdir; ısınması uzun sürer ve enerji her yere saçılır.
İşte bu yüzden vakuma uyumlu kızılötesi ısıtıcılar kullanıyoruz. Tüm vakum odasını ısıtmaya çalışmak yerine –ki bu tam bir enerji israfıdır– bu ısıtıcılar kısa dalga radyasyonunu doğrudan waferlere yönlendirir. Bu sayede daha hızlı ısı transferi sağlanır.
Vakum Ortamında Isıyla Başa Çıkma
Vakumlarda ısıyı hareket ettirecek hava yoktur. Tamamen radyasyona bağımlı kalırsınız. Bu yüzden bu kızılötesi lambaları, küçük bir alanda çok fazla enerji üretebilecek şekilde tasarladık. Böylece sıcaklık değişikliklerini son derece hızlı bir şekilde gerçekleştirebilirsiniz. Dakikalar yerine saniyeler içinde işlem tamamlanır. Odanın ısınmasını beklemek zorunda kalmadığınızda, her wafer için gereken enerji miktarı azalır.
Ancak bir dezavantaj da var: Yüksek güçlü kızılötesi tüpler belirli bir noktada aşırı ısınabilir. Eğer soğutma sistemleri yeterli değilse, odanın kaplamaları zarar görebilir. Bu yüzden bir denge kurmak gerekiyor.
Temizliğin Sağlanması
Temiz oda ortamlarında “gaz salınımı” büyük bir sorundur. En ufak bir kirlilik bile verimi düşürür. Bunu önlemek için yüksek saflıkta kuvars malzemeler kullanıyoruz. Ayrıca lamba yüzeyinin emisyon değerlerine de dikkat ediyoruz. Neden mi? Çünkü ne kadar enerji ürettiğinizin bir anlamı yoktur, eğer bu enerji substrata ulaşmıyorsa.
En iyi yanı ise bunların temelde yerine takılabilen parçalar olmasıdır. Eski, verimsiz cihazları değiştirerek tüm sistemi yeniden kurmanıza gerek kalmaz.
Bu Yöntemin Fabrikaya Sağladığı Faydalar
Isınma süresini azalttığınızda, karbon ayak iziniz de azalır. Bu kadar basit. Ayrıca, binanın HVAC sistemine çok daha az atık ısı yayılır; bu da enerji maliyetleri açısından bir avantajdır. En büyük farklılıklar, pişirme ve kurutma işlemlerinde görülür. Geleneksel fırınlardaki ağır enerji tüketimi olmadan istenen sıcaklığa ulaşılır.
Bu basit bir mekanik çözüm gibi görünse de, üretim hattından çıkan her çip için CO2 emisyonlarında gerçek ve ölçülebilir bir düşüş sağlar.