진공 환경에서도 사용 가능한 적외선 히터

진공 적외선 가열을 활용해 반도체 제조 공정의 친환경성을 높이는 방법 만약 반도체 제조 공장에서 진정한 탄소 중립을 실현하고자 한다면, 열 문제를 반드시 고려해야 합니다. 기존의 저항식 가열 방식은 에너지 낭비가 심각합니다. 가열하는 데 오랜 시간이 걸리며, 에너지도...