검증된 청정 환경 유지: 반도체 가열의 현실 만약 100등급 클린룸에서 작업해본 적이 있다면, 그곳의 규칙들을 잘 알고 있을 것입니다. 문제는 단순히 공기 필터에만 있는 것이 아닙니다. 진짜 문제는 눈에 보이지 않는 미세한 입자와 기체들입니다. 이러한 요소들이 장비에...

열 낭비를 막으세요: 골드 코팅 반사체가 효과적인 이유 실리콘 웨이퍼를 가열할 때 에너지가 여기저기로 새어나간다면, 그건 설계상의 문제입니다. 대부분의 사람들은 일반적인 알루미늄 반사체를 사용하지만, 문제는 알루미늄이 너무 많은 열을 흡수한다는 점입니다. 그 결과 웨...

열을 낭비하지 마세요: 금 코팅된 반사체가 왜 중요한지 솔직히 말해서, 웨이퍼 가공 과정에서 에너지를 낭비하는 것은 좋지 않은 설계입니다. 고출력의 적외선 램프를 사용할 때, 그 열의 상당 부분이 잘못된 방향으로 방출되어 웨이퍼에 도달하지 못합니다. 마치 히터를 벽...